柳谷 隆彦(Takahiko Yanagitani)

bigyanagi

早稲田大学 理工学術院 先進理工学部 電気・情報生命工学科 教授

〒169-8555 東京都新宿区大久保3-4-1 早稲田大学 西早稲田キャンパス 63号館6階 06-05A室 柳谷研究室

TEL:03-5286-3403(内線:3412)

E-mail:yanagitani@waseda.jp

略歴

1978年11月5日生まれ
1991年　京都市立修学院小学校卒業(2年間はニューヨーク在住)
1994年　京都市立修学院中学校卒業
1997年　同志社香里高校卒業
2001年　同志社大学工学部　電子工学科卒業
2003年　同志社大学大学院工学研究科　電気電子工学専攻　博士前期課程修了
2006年　同志社大学大学院工学研究科　電気電子工学専攻　博士後期課程修了　博士（工学）取得
2006年　産総研　関西産学連携センター　特別研究員
2007年　東北大学大学院工学研究科　電気・通信工学専攻　知的電磁系計測分野
     日本学術振興会特別研究員PD　 　
2008年　産総研　ナノテクノロジー部門ナノ機能合成グループ　日本学術振興会特別研究員PD
2008年　名古屋工業大学　機械工学科　計測分野　共通教育コアメンバー(旧教養部物理学教室)　助教(任期あり)
2012年　名古屋工業大学　機械工学科　計測分野　共通教育コアメンバー(旧教養部物理学教室)　助教(任期なし)
2015年　早稲田大学　理工学術院　先進理工学部　電気・情報生命工学科　准教授
2022年　早稲田大学　理工学術院　先進理工学部　電気・情報生命工学科　教授
 
2016年～　科学技術振興機構ＪＳＴ さきがけ研究員（ＰＲＥＳＴＯ）（兼任）
2016年～　構造生物・創薬研究所　研究員
2017年～　研究重点教員（戦略枠外）(材料技術研究所)
2018年～　重点領域研究機構アンビエントロニクス研究所　研究員
2022年～　ＪＳＴ　創発研究者（ＦＯＲＥＳＴ）

推進したＪＳＴプロジェクト

  • さきがけ事業、ＣＲＥＳＴ事業、創発事業、ＳＴＡＲＴ事業、Ａ－ＳＴＥＰ事業（本格型）

学会活動

  • Scientific report誌 (Nature publishing group) 編集委員
  • IEEE (米国電気学会) Ultrasonic Symposium Technical program committee
    (Group 3: Physical Acoustics)
  • International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2018) Local Committee
  • 電気情報通信学会超音波研究会専門員
  • 超音波シンポジウム（ＵＳＥ）運営委員
  • 超音波シンポジウム（ＵＳＥ）論文委員
  • 日本音響学会査読委員
  • EMデバイス・システムの新技術調査専門委員　幹事
  • 圧電材料・デバイスシンポジウム運営委員
  • 日本学術振興会弾性波素子技術第１５０委員会委員
  • 弾性波コンソーシアム幹事

専門分野

  • BAWフィルタ、超音波、医工学デバイス、圧電MEMS、固体音響学、イオンビーム応用、結晶成長

趣味特技

  • 硬式テニス（区民大会シングルス優勝・ダブルス準優勝、都民体育大会出場、２３区チャンピオンシップ出場）
  • 日本淡水魚（フィールドワーク）

インタビュー記事

  • 「超音波を利用した圧電デバイス開発により 実際に役立つ研究・ものづくりを目指す」

    受賞（研究）

    • 超音波シンポジウム奨励賞 (2007)
    • 粟屋潔学術奨励賞（2010, 日本音響学会）
    • 褒賞 （名古屋工業大学）　 (2013)
    • 応用物理学会講演奨励賞（指導学生）(2013)
    • 応用物理学会講演奨励賞（指導学生）(2015)
    • 早稲田大学リサーチアワード（国際研究発信力）(2016)
    • 文部科学大臣表彰 (2018)
    • 応用物理学会講演奨励賞（指導学生）(2018)
    • 応用物理学会講演奨励賞（指導学生）(2019)
    • 応用物理学会講演奨励賞（指導学生）(2024)

    受賞（教育）

    • 「教員評価に基づく表彰」特別優秀賞　（名古屋工業大学）(2012)
    • 「教員評価に基づく表彰」優秀賞　（名古屋工業大学）(2013)

    代表者共同研究契約

    • これまで国内大手メーカ３０社以上、海外１社

    競争的資金：科研費　代表者

    • 平成１９年度～２０年度　科学研究費補助金（特別研究員奨励費）
      「面内配向六方晶系薄膜の創製および横波モード共振小型分子間相互作用センサへの応用」
    • 平成２１年度～２２年度　科学研究費補助金（若手研究（Ｂ））
      「圧電薄膜を用いた表面波型液体計測センサの開発」
    • 平成２４年度～２６年度　科学研究費補助金（若手研究（Ｂ））
      「高感度センサＭＥＭＳを目指した巨大横波圧電薄膜の開発」
    • 平成２７年度～２８年度　科学研究費補助金（挑戦的萌芽研究）
      「極性反転多層構造の巨大圧電性薄膜を用いたGHz帯高分解能超音波プローブの実現」
    • 平成２８年度～３０年度　科学研究費補助金（基盤研究（B））
      「横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測」
    • 平成３０年度～３２年度　科学研究費補助金（挑戦的研究(萌芽)）
      「高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅」
    • 平成３１年度～３３年度　科学研究費補助金（基盤研究（B））
      「GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測」

    競争的資金：ＪＳＴ

      【代表者（分担者なし）】

    • 平成２１年度～平成２２年度　企業研究者活用型基礎研究推進事業（デンソー基礎研究所研究員を受入）
      「結晶配向制御技術と巨大圧電薄膜形成技術の融合による高感度センサ基盤技術の開発」
    • 平成２１年度　シーズ発掘試験研究
      「SH型SAW薄膜デバイスの開発と生体計測への応用」
    • 平成２４年度　復興促進プログラム（Ａ－ＳＴＥＰ）
      「安全な超音波非破壊検査技術の高分解能化を目指した極性反転薄膜探触子の開発」
    • 平成２８年度～平成３１年度　戦略的創造研究推進事業（さきがけ, ＰＲＥＳＴＯ）
      「分極反転構造の圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」
    • 令和４年度　研究成果展開事業 大学発新産業創出プログラム（ＪＳＴ－ＳＴＡＲＴ）
      「大量センサへ配線レスで給電する素子の開発」
    • 令和４年度～　創発的研究支援事業（ＪＳＴ－ＦＯＲＥＳＴ）
      「電池レス無線給電デバイス用の新規３次元配向圧電薄膜の創製」
    • 令和４年度～　研究成果最適展開支援プログラム　産学共同（本格型）（ＪＳＴ　Ａ－ＳＴＥＰ）
      「６Ｇ用圧電単結晶薄膜／多層膜基板構造弾性波デバイス基盤技術の研究開発」

      • 【主たる共同研究者】

    • 令和２年度～令和５年度　戦略的創造研究推進事業（ＣＲＥＳＴ）研究領域「微小エネルギーを利用した革新的な環境発電技術の創出」
      提案課題「スーパースティープトランジスタによるレクテナと圧電トランスの融合によるRFエネルギーハーベスティング技術の実用化」

    競争的資金：民間助成研究　代表者（分担者なし）

    • 平成１５年度　加藤科学振興会研究奨励金
    • 平成２１年度　立石科学技術振興財団研究助成
    • 平成２４年度　小野音響学研究助成
    • 平成２４年度　村田学術振興財団研究助成
    • 平成２４年度　中部科学技術センター学術奨励研究助成事業
    • 平成２５年度　鈴木謙三記念医科学応用研究財団　調査研究助成
    • 平成２５年度　大倉和親記念財団　研究助成
    • 平成２５年度　中谷医工計測技術振興財団　研究助成
    • 平成２５年度　堀科学芸術振興財団　研究助成（一般）
    • 平成２５年度　高橋産業経済研究財団　一般公募による助成
    • 平成２５年度　立松財団　一般助成研究
    • 平成２７年度　三菱マテリアル株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • 平成２９年度　三菱マテリアル株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • 平成３０年度　三菱マテリアル株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • 平成３１年度　三菱マテリアル株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • 平成３１年度　東芝メモリ株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • 平成３１年度　ＪＸＴＧエネルギー株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • 平成３１年度　材料科学技術振興財団　研究助成
    • 平成３１年度　ＮＳＫメカトロニクス財団助成研究
    • ２０２０年度　キオクシア株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成ＦＳ研究
    • ２０２１年度　三菱マテリアル株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成
    • ２０２１年度　キオクシア株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成ＦＳ研究
    • ２０２２年度　キオクシア株式会社 ― 早稲田大学理工学術院包括協定研究助成ＦＳ研究

    競争的資金：民間渡航助成　代表者（分担者なし）

    • 平成２３年度　日東学術財団助成
    • 平成２６年度　中部電気利用渡航助成

    担当科目

      【先進理工学部】
    • 電気・情報生命工学フロンティア 春学期
    • 電気・情報生命工学実験Ｂ Ａ組 春学期
    • 電気・情報生命工学実験Ｂ Ｂ組 春学期
    • 電気・情報生命工学実験Ｃ 秋学期
    • プロジェクト研究Ａ 春学期
    • プロジェクト研究Ｂ 秋学期
    • 卒業研究Ａ 春学期
    • 卒業研究Ｂ 秋学期
    • 電磁気学Ｂ　（３クラス） 秋学期
    • 電磁気学Ｂ・演習　（３クラス） 秋学期
    • プラズマエレクトロニクス 秋学期
    • 超音波デバイス 秋学期
    • 電磁気学要論 春学期
    • 電磁気学要論演習 春学期

      • 【大学院先進理工学研究科】
    • 修士論文（電生） 通年
    • 分子センサデバイス研究 通年
    • 分子センサデバイス特論 春学期
    • 特別演習Ａ 春学期
    • 特別演習Ｂ 秋学期
    • 分子センサデバイス演習Ａ 春学期
    • 分子センサデバイス演習Ｂ 秋学期
    • 分子センサデバイス演習Ｃ 春学期
    • 分子センサデバイス演習Ｄ 秋学期
    • 分子センサデバイス研究 通年

    主な招待講演（４５件）

    1. 柳谷隆彦
      「分極反転ScAlN薄膜を用いた高次モードBAW薄膜共振子」
      電子情報通信学会超音波研究会, 2025年2月19日
    2. T. Yanagitani
      “Polarization inverted piezoelectric film BAW filters”
      Asia-Pacific RF & Antenna Forum, 2025年1月20日
    3. T. Yanagitani
      “Ferroelectric ScAlN thin films for periodically polarization inverted BAW resonators ”
      2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium
    4. T. Yanagitani
      “Polarization Inverted ScAlN Multilayer BAW Resonators ”
      IEEE MTT-S Microwave Acoustics & Mechanics (IC-MAM)
    5. 柳谷隆彦
      「ＢＡＷ／ＳＡＷフィルタの最近の研究開発動向」
      システムデバイスロードマップ産学連携委員会 (SDRJ), 2024年11月15日
    6. 柳谷隆彦
      「ScAlNおよびLiNbO3エピタキシャル圧電薄膜のBAWフィルタ応用の現状」
      第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年9月16日
    7. 柳谷隆彦
      「ウルツ鉱構造窒化物の分極反転BAWフィルタ応用」
      日本学術振興会R032委員会第17回研究会, 2024年5月10日
    8. 柳谷隆彦
      「BAWフィルタ応用を目指した強誘電性酸化物圧電薄膜の開発」
      第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年3月22日
    9. 柳谷隆彦
      「ワイヤレス電力伝送レクテナへの応用を目指した圧電薄膜トランスの開発」
      ワイヤレス電力伝送実用化コンソーシアム（WiPoT）ｼﾞｮｲﾝﾄｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ, 2023年12月18日
    10. T. Yanagitani
      “GHz frequency switchable BAW filter applications of ferroelectric ScAlN and MgZnO thin films,”
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    11. T. Yanagitani
      “Electromechanical coupling hysteresis curve of piezoelectric film/substrate structure in the GHz range,”
      Materials Research Meeting 2021
    12. 柳谷隆彦
      「窒化物強誘電体薄膜の BAW フィルタ応用とウエハ付きの圧電薄膜の kt2 および音速評価法」
      第38回強誘電体会議
    13. T. Yanagitani
      “Measurement of GHz kt2 hysteresis curve in piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”
      8th PiezoMEMS Workshop
    14. 柳谷隆彦
      「PZT, ScAlN, MgZnOにおける圧電薄膜/基板構造からのGHz帯電気機械結合係数kt2の抽出」
      日本MRS学会
    15. T. Yanagitani
      “ScAlN, ZnO, and PbTiO3 polarization inverted thin multilayers for BAW and SAW applications,”
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    16. 柳谷隆彦
      「窒化物強誘電体圧電薄膜材料の５Ｇ向けBAWフィルタ応用」
      第37回強誘電体会議
    17. 木下紗里那、柳谷隆彦
      講演奨励賞受賞記念講演「レクテナ昇圧素子に向けたSMR型傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス」
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    18. T. Yanagitani,
      “Enhancement of electromechanical coupling kt2 in rare earth doped AlN films for bulk acoustic wave filter applications,”
      ICoSEM2019
    19. 柳谷隆彦
      「超高周波帯超音波映像装置用プローブの新しい分極反転圧電薄膜材料」
      超音波計測に関する萌芽技術研究会
    20. T. Yanagitani,
      “Polarization inverted ScAlN films and new high kt2 YbAlN films for BAW device applications,”
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM 13)
    21. 柳谷隆彦
      「ウエハ付き状態の圧電薄膜のBAWフィルタ向け評価法およびScAlN薄膜成長のノウハウ」
      圧電MEMS研究会第20回研究会
    22. 柳谷隆彦
      「５Ｇのスマートフォン向けフィルタ(BAW filter)の薄膜材料」
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    23. T. Yanagitani, and J. Jia,
      “ScAlN polarization inverted resonators and enhancement of kt2 in new YbAlN materials for BAW devices,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    24. 柳谷隆彦
      「５Ｇ以降に必要なスマートフォン向けフィルタ(BAWフィルタ)の薄膜材料」
      BC(Beyond CMOS/ERM（Emerging Research Materials）合同委員会
    25. 清水貴博、柳谷隆彦
      講演奨励賞受賞記念講演「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    26. 柳谷隆彦
      「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    27. T. Yanagitani,
      “A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics (JKC-FE12)
    28. 柳谷隆彦
      「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」
      第168回電子セラミック・プロセス研究会
    29. 柳谷隆彦
      「New BAW filter materials for 5G smart phone」
      LG chem Tech Scouting Japan
    30. 柳谷隆彦
      「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」
      アルバックシンポジウム
    31. 柳谷隆彦
      「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」
      第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
    32. 柳谷隆彦
      「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」
      第65回応用物理学会学術講演会
    33. 柳谷隆彦
      「最新のBAW デバイス材料の研究と応用」
      マイクロナノ先端技術交流会
    34. 柳谷隆彦、唐澤嶺
      「分極反転圧電薄膜材料の進展と超音波デバイス応用」
      2017年秋季日本音響学会研究発表会
    35. 柳谷隆彦、唐澤嶺
      「分極反転圧電薄膜の成長と応用～レクテナ用昇圧回路への応用検討～」
      第46回EMシンポジウム
    36. T. Yanagitani, T. Mori, and K. Wasa,
      “Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method,”
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    37. Takahiko Yanagitani, and Masashi Suzuki,
      ”Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure,”
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016 (IWPMA 2016)
    38. 柳谷隆彦
      「超音波顕微鏡プローブ用の新しい圧電薄膜材料」
      第8回バイオ超音波顕微鏡研究会
    39. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
      講演奨励賞受賞記念講演「極性反転構造のZnO及びScAlN圧電薄膜の形成と弾性波デバイス応用」
      第63回応用物理学会学術講演会
    40. K. Wasa, H. Hanzawa, S. Yoshida, T. Yanagitani, and S. Tanaka,
      “High Performance Piezoelectric Thin Films Beyond PZT,”
      2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
    41. Takahiko Yanagitani, and Masashi Suzuki,
      “Polarization Control of ScAlN and ZnO films: Application to polarization Inverted Multilayer,”
      2015 International Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems
    42. 鈴木雅視、柳谷隆彦
      講演奨励賞受賞記念講演「イオンビーム照射製膜によるAlN薄膜の極性・配向制御及び極性反転層構造の形成」
      2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会
    43. 柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
      「平行配向ZnO圧電薄膜を用いた液中横波励振デバイス」
      マイクロEMデバイス・システムとICの融合化技術調査専門委員会
    44. 柳谷隆彦
      「希土類－III-IV族系巨大圧電性薄膜やPZT単結晶薄膜の相境界の実験的研究」
      関西・中部誘電体セミナー
    45. 柳谷 隆彦
      「圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振、～抗原抗体反応センサ、導電率センサへの応用～」
      スマート・アクチュエータ／センサ委員会
    46. 柳谷隆彦、木内正人
      「イオン照射による六方晶系薄膜の配向制御と横波モード圧電デバイス」
      第21回秋季シンポジウム（日本セラミックス協会）

    学術論文（英文、査読付）

      【２０２５年】

    1. 【解説記事】M. Suzuki, J. Sekimoto, K. Fukunaga, S. Kakio, and T. Yanagitani,
      “High overtone mode bulk acoustic wave resonators with polarization inverted ScAlN or SiAlN/AlN films for next-generation high frequency communication systems, ”
      Jpn. J. Appl. Phys. , (2025). (in press)
    2. S. Kinoshita, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “High-overtone mode piezoelectric transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for wake-up receiver applications,”
      AIP Adv., vol. 15, 045010 (2025).
    3. S. Kinoshita, R. Karasawa, Y. Shimano, M. Matsumura, and T. Yanagitani,
      “Zig-zag ScAlN 12-layer for shear mode BAW transformer application in rectenna,”
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. (2025) (in press).
    4. Y. Shimano, Motoshi Suzuki, and T. Yanagitani,
      “k332 Estimation of thin films via piezoelectric stiffening using ultrasonic reflectometry,”
      IEEE Open J.Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 5, pp. 1-5, (2025).

      5. 【２０２４年】

    5. S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi and T. Yanagitani,
      "GHz voltage amplification in a stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO2 layers,"
      Appl. Phys. Express vol. 17 116501 (2024).
    6. K-H. Sano, Y. Ono, R. Tobinaga, Y. Imamura, Y. Hayashi, and T. Yanagitani,
      "Atmospheric gas-phase catalyst etching of SiO2 for deep microfabrication using HF gas and patterned photoresist,"
      ACS Appl. Mater. Interfaces,(2024).
    7. J. Jia, D. Kishi, N. Bai, T. Okajima, F. Lesari, T. Yanagitani,
      "Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O,"
      Phys. Rev. B, vol. 109, 134101, (2024).
    8. S. Tokai, T. Yanagitani,
      "Full-epitaxial ScAlN and MgZnO solidly mounted resonators based on epitaxial acoustic Bragg reflector,"
      Appl. Phys. Lett. vol.124 082901,(2024).
    9. S. Tokai, T. Yanagitani,
      "Epitaxial ZnO piezoelectric layer on SiO2/Mo solidly mounted resonator fabricated using epitaxial Au sacrificial layer,"
      Appl. Phys. Express, vol. 17, 025501 (2024).

      【２０２３年】

    10. K. Shiraiwa, T. Yanagitani,
      "Bragg reflector type shear mode BAW transformer based on c-axis zig-zag ScAlN multilayer for rectifying antenna,"
      IEEE Sens. Lett. vol. 7 no. 11, 2504404,(2023).
    11. Y. Koike, Y. Sato, T. Yanagitani,
      "GHz fingerprint acoustic imaging by mechanically scanning a soft conductive probe on epitaxial PbTiO3 films,"
      IEEE Sens. Lett vol.7 no.10, 2504004 (2023).
    12. T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      "Theoretical investigation of Rayleigh surface acoustic wave propagation characteristics in c-axis-zigzag ScAlN film/silicon substrate structure,"
      J. Appl. Phys., vol.133, no. 20 , pp.204502, (2023).

      【２０２２年】

    13. T. Yanagitani, N. Ishii, K. Kondo, M. Suzuki,
      "A method for extracting sole mechanical properties of Bragg reflector by GHz ultrasonic pulse-echo technique,"
      Appl. Phys. Lett., vol.121, no. 18 , pp.182901, (2022).
    14. K. Nakamura, Y. Koike, Y. Sato, and T. Yanagitani,
      "Giga-hertz ultrasonic reflectometry for fingerprint imaging using epitaxial PbTiO3 transducers,"
      Appl. Phys. Lett., vol.121, no. 17 , pp.172903, (2022).
    15. S. Kinoshita and T. Yanagitani,
      "Oblique incidence ultrasonic reflectometry device based on c-axis tilted ScAlN films for evaluating viscoelastic properties of liquids above 100 MHz,"
      Appl. Phys. Lett., vol.121, no. 15 , pp.152901, (2022).
    16. J. Jia,N. Iwata, M. Suzuki, and T. Yanagitani
      "Enhanced electromechanical coupling in Yb-Substituted III−V nitride alloys,"
      ACS Appl. Electron. Mater., vol. 4, no. 7, pp. 3448–3456(2022).
    17. T. Tominaga, S. Takayanagi and T. Yanagitani
      "c-Axis-tilted ScAlN films grown on silicon substrates for surface acoustic wave devices,"
      Jpn. J. Appl. Phys. vol. 61, SG1054 (2022)

      【２０２１年】

    18. J. Jia and T. Yanagitani
      "Origin of Enhanced Electromechanical Coupling in (Yb,Al)N Nitride Alloys,"
      Phys. Rev. Appl., vol.16, no. 4, 044009 (2021)
    19. T. Tominaga, S. Takayanagi and T. Yanagitani
      "Negative-ion bombardment increases during low-pressure sputtering deposition and their effects on the crystallinities and piezoelectric properties of scandium aluminum nitride films,"
      J. Phys. D: Appl. Phys., vol. 55, pp. 105306 (2021)
    20. 【Editor's Pick】C. Masamune, and T. Yanagitani,
      "Ion-beam-induced in-plane a-axis oriented (0001) AlN and ScAlN thin film BAW resonators,"
      AIP Advances vol. 11 no.12, pp. 125215 (2021).
    21. S. Kinoshita and T. Yanagitani, "Bulk acoustic wave transformer based on the combination of the high-ε epitaxial PbTiO3 and low-ε ScAlN thin films,"
      Appl. Phys. Lett., vol. 118, pp. 212901 (2021).
    22. S. Kinoshita and T. Yanagitani, "Theoretical and experimental study of shear mode bulk acoustic wave transformer based on c-axis zigzag ScAlN multilayer for rectenna application,"
      Appl. Phys. Lett., vol. 118, pp. 142903 (2021).
    23. 【解説記事】T. Yanagitani and S. Takayanagi, "Polarization control of ScAlN, ZnO, and PbTiO3 piezoelectric films: Application to polarization inverted multilayer BAW and SAW devices"
      Jpn. J. Appl. Phys. , vol. 60 pp. SD0803(10 pages) (2021).

      24. 【２０２０年以前】

    24. T. Shimidzu and T. Yanagitani, "Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on electric-field-induced piezoelectric PMN-PT/PZT epitaxial film stacks,"
      J. Appl. Phys. vol. 126, pp. 114104 (2019).
    25. T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani, "Frequency-switchable polarity-inverted BAW resonators based on PZT/PTO epitaxial films using difference in coercive field,"
      Appl. Phys. Lett., vol. 114, no. 21, pp. 212902, (2019).
    26. K-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN thick film ultrasonic transducer in 40 MHz ̶80 MHz,”
      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.vol. 65, no. 11, pp. 2097 - 2102, (2018).
    27. M. Kawabe, S. Takayanagi, H, Ichihashi, M. Suzuki, T. Yanagitani and M. Matsukawa, “Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent phonons induced by ScAlN piezoelectric thin-film transducer,”
      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.vol.65, no.10, pp.1882-1887, (2018).
    28. S. Mori, T. Makino, D. Koyama, S. Takayanagi, T. Yanagitani and M. Matsukawa, “Ultrasonically induced electrical potentials in demineralized bovine cortical bone,”
      AIP Advances, pp. 045007, (2018).
    29. H. Odagawa, K. Terada, Y. Tanaka, H. Nishikawa, T. Yanagitani and Y. Cho, “Quantitative thickness measurement of polarity-inverted piezoelectric thin-film layer by scanning nonlinear dielectric microscopy,”
      Jpn. J. Appl. Phys. vol. 56, 10PF18 (2017).
    30. S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H．Ichihashi, Y. Shibagaki, H. Hayashi, and M. Matsukawa, “Evaluation of the acoustoelectric effect in the thickness direction of c-plane ZnO single crystals by Brillouin scattering,”
      J. Appl. Phys. vol. 121, 235102 (2017).
    31. S. Matsukawa, T. Makino, S. Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Effect of anisotropy on stress-induced electrical potentials in bovine bone using ultrasound irradiation,”
      Appl. Phys. Lett. vol. 110, pp.143701 (2017).
    32. H．Ichihashi,T. Yanagitani M．Suzuki,S．Takayanagi,M．kawabe,S．Tomita and M．Matsukawa “Acoustic wave velocities and refractive indices in an m-plane GaN single crystal plate and c-axis oriented ScAlN films measured by Brillouin scattering tecniques,”
      IEEE Trans. Ultrason.,Ferroelectr.,Freq.Contr.vol.63,no.5 pp.717-725, (2016).
    33. H. Odagawa, K. Terada, H. Nishikawa, T. Yanagitani and Y. Cho, “Method for measuring polarity-inverted layered structure in dielectric thin films using scanning nonlinear dielectric microscopy ”
      Ferroelectrics, vol. 498, pp. 47-51 (2016).
    34. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani and T. Yamamoto “High-Tc/high-coupling relaxed PZT-based single crystal thin films,”
      J. Appl. Phys. vol. 117, pp. 124106, (2015).
    35. H Tsuneda, S Matsukawa, S Takayanagi, K Mizuno, T Yanagitani, M Matsukawa, “Effects of microstructure and water on the electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation,”
      Appl. Phys. Lett. vol. 106, no. 7, pp.073704 (2015).
    36. H. Ichihashi T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Kawabe and M. Matsukawa “Gigahertz acoustic wave velocities measurement in GaN single crystals considering acousto-electric effect,”
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. 61, pp. 1307-1313, (2015) (Invited).
    37. T Yanagitani, and M Suzuki, “Electromechanical coupling and gigahertz elastic properties of ScAlN films near phase boundary,”
      Appl. Phys. Lett. vol.105, pp. 122907, (2014)
    38. M. Suzuki, T. Yanagitani, and H. Odagawa, “Polarity-inverted ScAlN film growth by ion beam irradiation and application to overtone acoustic wave (000-1)/(0001) film resonators”
      Appl. Phys. Lett., 104, pp. 172905-1－172905-4 (2014).
    39. T. Yanagitani, and M. Suzuki, “Enhanced piezoelectricity in YbGaN films near phase boundary,” 
      Appl. Phys. Lett., vol. 104 no. 23, pp. 082911-1－082911-4 (2014).
    40. M. Okino, S. Coutelou, K. Mizuno, T. Yanagitani and M. Matsukawa, “Electrical potentials in bone induced by ultrasound irradiation in the Megahertz range,” 
      Appl. Phys. Lett., vol. 103 no. 10, pp. 103701-1－103701-4 (2013)
    41. T. Yanagitani, and M. Suzuki, “Significant shear mode softening in c-axis tilt nanostructured hexagonal thin film induced by self-shadowing effect,”
      Scripta mater. vol. 69, pp. 724-727, (2013).
    42. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “A method for predicting thickness of unoriented layer in ZnO film using piezoelectricity distribution in depth direction,” 
      J. Phys. D: Appl. Phys., vol. 46, pp. 315305-1－315305-5, (2013).
    43. H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, T. Sugimoto, M. Matsukawa “High-performance Brillouin spectroscopy of phonons induced by a piezoelectric thin film with a coaxial microwave resonator,” 
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr. (Letter), vol. 60, no. 5 pp. 873-876, (2013).
    44. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Effect of metal mode and oxide mode on unusual c-axis parallel oriented ZnO film growth on Al/glass substrate in a reactive magnetron sputtering of Zn target,”
      J. Cryst. Growth, vol. 363, pp. 22-24, (2013).
    45. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition,”
      Appl. Phys. Lett., vol. 101 no. 23, pp. 232902-1－232902-3 (2012).
    46. S. Takayanagi, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Wideband multimode transducer consisting of c-axis tilted ZnO / caxis normal ZnO multilayer, “
      Jpn. J. Appl. Phys. vol. 51, no. 7 pp. 07GC08 (2012).
    47. Nakatsuji, K. Yamamoto, D. Suga, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and Y. Matsuyama, “Three-Dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone: Effects of hydroxyapatite crystallites orientation and microstructure,” 
      Jpn. J. Appl. Phys. vol. 50, pp. 07HF18-1－07HF18-6 (2011).
    48. K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yaoi, Yu. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa and Y. Matsuyama, “Relationships between the anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatitecrystallite orientation in bovine cortical bone,” 
      Ultrasonics, vol. 52, pp. 377-386 (2011).
    49. T. Yanagitani and M. Kiuchi, “Texture modification of wurtzite piezoelectric films by ion beam irradiation,“ 
      Surf. Coat. Technol., vol. 206, pp.816-819 (2011).
    50. T. Yanagitani, N. Morisato, S. Takayanagi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, “c-axis zig-zag ZnO film ultrasonic transducers for designing longitudinal and shear wave resonant frequencies and modes,” 
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 58, pp. 1062-1068 (2011).
    51. T. Yoshida, T. Yanagitani, and M. Matsukawa, “Observation of induced longitudinal and shear acoustic phonons by Brillouin scattering,” 
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 58, pp. 1255-1260 (2011).
    52. T. Yanagitani, H. Sano, and M. Matsukawa, 
      “A method for measuring in-plane unidirectional electrical properties in a wide band-gap semiconductor using a Brillouin scattering method,” 
      J. Appl. Phys., vol. 108, pp. 024910-1-024910-4, (2010).
    53. T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, Y. Mori, S. Sasaki and M. Oba, 
      “Large-area growth of in-plane oriented (11-20) ZnO films by linear cathode magnetron sputtering,”
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 49, pp. 07HD16-1-07HD16-4, (2010).
    54. Y. Yaoi, K. Yamamoto, Y. Yamato, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano, 
      “Distribution of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite crystallite orientation in bovine cortical bone,” 
      Acoust. Sci. & Tech., vol. 30, no. 4, pp. 306-309 (2009).
    55. Y. Yaoi, K. Yamamoto, T. Nakatsuji, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano, “Anisotropy of longitudinal wave velocity and hydroxyapatite orientation in bovine cortical bone,” 
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 48, pp. 07GK06-1-07GK06-4 (2009).
    56. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
      “Propagation characteristics of shear horizontal surface acoustic wave in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures,” 
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 55, pp. 2709-2713 (2008).
    57. *K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki, and A. Nagano, “Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone,” 
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 47, pp. 4096-4100 (2008).
    58. *Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamazaki, and A. Nagano,
      “Distribution of hydroxyapatite crystallites orientation and longitudinal wave velocity in ring-shaped cortical bone of bovine femur,”
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 55, no. 6, pp.1298-1303 (2008).
    59. Y. Yamato, M. Matsukawa, K. Yamazaki, H. Mizukawa, T. Yanagitani, and A. Nagano, 
      “Effect of hydroxyapatite crystallites orientation on ultrasonic wave velocities in bovine cortical bone,” 
      Calcif. Tissue. Int., vol. 82, no. 2, pp. 162-169, (2008).
    60. T. Yanagitani and M. Kiuchi,
      “Highly oriented ZnO thin films deposited by grazing ion-beam sputtering: application to acoustic shear wave excitation in the GHz range,”
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 46, no. 47, pp. L1167-L1169, (2007).
    61. T. Yanagitani and M. Kiuchi, 
      “Control of in-plane and out-of-plane texture in shear mode piezoelectric ZnO films by ion-beam irradiation,” 
      J. Appl. Phys., vol. 102, no. 4, pp. 044115-1-044115-7, (2007).
    62. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
      “Shear-mode electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO films,”
      J. Appl. Phys., vol. 102, no. 2, pp. 024110-1-024110-7, (2007).
    63. T. Kawamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
      “Effects of sputtering gas conditions on formation of (11-20) textured ZnO films,”
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 46, no. 7B, pp. 4660-4664, (2007).
    64. S. Murata, T. Kawamoto, M. Matsukawa, T. Yanagitani, and N. Ohtori, 
      “Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering,”
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 46, no. 7B, pp. 4626-4628, (2007).
    65. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
      “Characteristics of pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,”
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 54, no. 8, pp.1680-1686, (2007).
    66. T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Electromechanical coupling coefficient k15 of polycrystalline ZnO films with the c-axes lie in the substrate plane,
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., (Letter) vol. 54, no. 4, pp.701-704, (2007).
    67. T. Nohara, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe, 
      “Conversion characteristics of the shear wave transducer made of unidirectionally aligned ZnO film in plane,”
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 45, pp.4201-4203 (2006).
    68. Y. Miyamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Effect of sputtering geometry on the (11-20) textured ZnO piezofilm,”
      Acoust. Sci. & Tech., vol. 27, no. 1 pp. 53-55. (2006).
    69. T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, 
      “Characteristics of (10-10) and (11-20) textured ZnO piezofilms for a shear mode resonator in the VHF-UHF frequency ranges,”
      IEEE Trans. Ultrason., Ferroelectr., Freq. Contr., vol. 52, no. 11, pp. 2140-2145, (2005).
    70. T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, 
      “Formation of uniaxially (11-20) textured ZnO film on glass substrates,”
      J. Cryst. Growth, vol. 276, pp. 424-430, (2005).
    71. T. Yanagitani, S. Tomohiro, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani, 
      “Characterizations of (11-20) textured ZnO films fabricated by RF magnetron sputtering,” 
      Jpn. J. Appl. Phys., vol. 43, no. 5B, pp. 3004-3007, (2004).

    国際会議論文

    1. N. Tomiyama,T. Sato,S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “Improvement of Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis Parallel Oriented ZnO Film by Limiting Particle Irradiation Direction During RF Magnetron Sputtering,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2023).
    2. K-H. Sano,Y. Ono,Y. Imamura,Y. Hayashi,and T. Yanagitani,
      “Simple microfabrication process for quartz crystal using HF gas and catalytic materials,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2023).
    3. M. Matsumura,Y. Koike, R. Seki, and T. Yanagitani,
      “Shear mode bulk acoustic wave type gyroscope based on c-axis tilted ScAlN piezoelectric films,”
      Proc. IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, pp. 1-3, (2023).
    4. A. Hanai,S. Kudo, K. Ekida, J.Jia, and T. Yanagitani,
      “c-Axis parallel ZnO piezoelectric multilayer for BAW gyroscope applications,”
      Proc. IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems, pp. 1-3, (2023).
    5. Y. Shimizu and T. Yanagitani,
      “Fabrication of high kt2 and k’352 Sc0.4Al0.6N thin films by RF magnetron sputtering,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    6. S. Kudo and T. Yanagitani,
      “Sputter epitaxial (101 ̅2) LiNbO3 film / (112 ̅0) AZO / (101 ̅2) Al2O3 shear mode thin film resonators,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    7. S. Kudo, K. Ekida, J. Jia,and T. Yanagitani,
      “IBAD c-axis parallel ZnO piezoelectric film stack for gyroscope applications,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    8. S. Li, J. Jia, N. Iwata, and T. Yanagitani,
      “Experimental and theoretical investigation of enhanced electromechanical properties in YbAlN and YbGaN films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    9. N. Ishi and T. Yanagitani,
      “Polarization inverted 2 layer ScAlN thin film resonator fabricated by applying external electric field,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    10. Y. Koike, R. Seki, and T. Yanagitani,
      “A piezoelectric gyroscope with tilted c-axis ScAlN thin-films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    11. S. Shibata, and T. Yanagitani,
      “Power durability evaluation of higher-order mode polarization-inverted ScAlN thin film resonators,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    12. Y. Shimano, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “Growth of O-polar and Zn polar ferroelectric MgZnO thin films controlled by sputtering geometry,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    13. Y. Shimano, H. Kishi, S. Kudo, and T. Yanagitani,
      “Quasi-shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted MgZnO thin films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    14. N. Nakamura, S. Kudo, J. Jia, and T. Yanagitani,
      “Improvement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric LiNbO3 by doping praseodymium,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2022).
    15. S. Kudo, S. Tokai, and T. Yanagitani,
      “Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process,”
      Proc. IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics and Mechanics, pp. 86-89, (2022).
    16. N. Ishi and T. Yanagitani,
      “A method to evaluate the mechanical transmission loss of the sole Bragg reflector by using GHz pulse echo technique,”
      Proc. IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics and Mechanics, pp. 86-89, (2022).
    17. Y. Koike, Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Fingerprint imaging in GHz using PbTiO3 epitaxial piezoelectric thin films,”
      Proc. IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics and Mechanics, pp. 17-20, (2022).
    18. Y. Shimizu, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “Comparison of the kt2 Extraction Methods of Piezoelectric Films in Film/Substrate Structure and SelfStanding Film Structure,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2021).
    19. N. Ishii, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “A Method for Evaluating Acoustic Bragg Reflector by Ultrasonic Microscope,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2021).
    20. Y. Miho, and T. Yanagitani,
      “Detection of Protein Binding by Shear Mode Ultrasonic Reflection Coefficients Using c-Axis Tilted ScAlN Film Above 100MHz,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2021).
    21. T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2021).
    22. Y. Koike, J. Jia, M. Suzuki, and T. Yanagitani,
      “Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Velocity in YbGaN Films by DFT,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-3, (2021).
    23. H. Kishi, S. Kobayashi, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers for Passive Voltage Amplification Using the Epitaxial ZnO Thin Films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2021).
    24. S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2020).
    25. K. Izumi and, T. Yanagitani,
      “Enhancement of GHz Electromechanical Coupling Coefficient kt2 of MgZnO and CaZnO Thin Film BAW Resonators,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-3, (2020).
    26. N. Iwata, S. Kinoshita, J. Jia, and T. Yanagitani,
      “Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Mechanical Quality Factor (Qm) in YbAlN Films Asing DFT,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-2, (2020).
    27. Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Zig-Zag ScAlN Multilayer SMR for High Power BAW Filter Application Such as RF Base Station,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-3, (2020).
    28. Sarina Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “Self-Standing FBAR Transformer Based on Shear Mode Zig-Zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2020).
    29. R. Tatsumi, and T. Yanagitani,
      “Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Derived by Electromagnetic Signal Including No Acoustic Losses,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-3, (2020).
    30. T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “Deterioration in the Piezoelectric Property of ScAlN Thin Films by Negative Ion Bombardment Increased in Low-Pressure Sputtering Deposition,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2020).
    31. R. Tatsumi, and T. Yanagitani,
      “Accurate Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate ,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-3, (2020).
    32. K. Izumi, and T. Yanagitani,
      “c-Axis Oriented ScAlN/ SiO2 Multilayer BAW Transformer for Rectifying Antenna Applications,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2020).
    33. T. Soutome, and T. Yanagitani,
      “ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2020).
    34. T. Soutome, and T. Yanagitani,
      “Measurement of Antiresonant Frequency During DC Bias Voltage Application for Analysis of Second Harmonic Response of ScAlN on SMR,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2020).
    35. N. Iwata, S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “Extracting Mechanical Q Factor of the Pure AlN, ZnO, and ScAlN Film Without Etching Substrate,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-2, (2020).
    36. Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging,,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-3, (2020).
    37. C. Masamune, and T. Yanagitani,
      “Ion beam induced a-axis in-plane oriented c-axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1127-1128, (2019).
    38. S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “A method for extracting mechanical Q factor of the piezoelectric film without etching substrate,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 299-300, (2019).
    39. S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 847-848, (2019).
    40. S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1118-1119, (2019).
    41. T. Soutome, and T. Yanagitani,
      “A method to estimate kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 301-304, (2019).
    42. R. Kihara, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1120-1123, (2019).
    43. T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani,
      “Improvement of c-axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 671-674, (2019).
    44. R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580083, pp. 1-4, (2018).
    45. T. Shimidzu, and T. Yanagitani,
      “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8579996, pp. 1-4, (2018).
    46. M. Totsuka, and T. Yanagitani,
      “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580130, pp. 1-4, (2018).
    47. Y. Yamakawa, and T. Yanagitani,
      “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580102, pp. 1-4, (2018).
    48. H. Yazaki, T. Soutome, R. Karasawa, S. Takayanagi, K. Yoshida, and T. Yanagitani,
      “c-Axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580191, pp. 1-4, (2018).
    49. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, K. Morisaka, Y. Suzuki, and T. Yanagitani,
      “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8579841, pp. 1-4, (2018).
    50. Y. Mazda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani,
      “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100 MHz,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580215, pp. 1-4, (2018).
    51. C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “ScAlN free-standing 0.1 mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8579797, pp. 1-4, (2018).
    52. T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani,
      “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8579933, pp. 1-4, (2018).
    53. R. Noda, T. Shimidzu, K. Wasa, and T. Yanagitani,
      “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580154, pp. 1-4, (2018).
    54. S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “A new method for extracting Q factor of the piezoelectric film without removing substrate,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1-4, (2018).
    55. H. Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, and T. Yanagitani,
      “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8580165, pp. 1-4, (2018).
    56. K-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “High electromechanical coefficient kt2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8092425, pp. 1-4, (2017).
    57. R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “c-Axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8091618, (2017).
    58. Y. Yamakawa, K-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature Stable AT-cut quartz thick plate,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8092486, (2017).
    59. T. Shimidzu, T. Yanagitani, and K. Wasa,
      “The frequency switchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8092735, pp. 1-4, (2017).
    60. S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, and T. Yanagitani,
      “Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 8092072, pp. 1-4, (2017).
    61. K.-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz,”
      Proc. TRANSDUCERS, pp. 862-865, (2017).
    62. Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani,
      “Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate”
      Proc. TRANSDUCERS, pp. 862-865, (2017).
    63. S. Takayanagi, M. Matsukawa, and T. Yanagitani,
      “Effects of energetic negative ions generated from sputtering targets on ScAlN film growth,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 7728836, pp. 1-4, (2016).
    64. M. Kawabe, Y. Shibagaki, M. Matsukawa, T. Yanagitani, M. Suzuki, and S .Takayanagi,
      “Rapid and simultaneous measurement of longitudinal and shear wave velocities by Brillouin scattering from artificially induced phonons,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 7728801, pp. 1-4, (2016).
    65. S. Takayanagi, M. Matsukawa, and T. Yanagitani,
      “Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 7329631, pp. 1-4, (2015).
    66. M. Kawabe, H. Ichihashi, S. Takayanagi, M. Matsukawa, and T. Yanagitani,
      “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using coherent induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., Art no. 7329292, pp. 1-4, (2015).
    67. S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, and M. Matsukawa,
      “Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp.765–768, (2014).
    68. H. Ichihashi, T. Yanagitani, M. Suzuki, S. Takayanagi, and M. Matsukawa,
      “Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 2521–2524, (2014).
    69. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, and T. Yamamoto,
      “High Tc/high coupling perovskite thin films,”
      Proc. IEEE ISAF/IWATMD/PFM, Art no. 6923017, pp. 1–4, (2014).
    70. T. Yanagitani, K. Katada, M, Suzuki, and K. Wasa,
      “High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550°C,”
      Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. pp. 121-123, (2014).
    71. K. Katada, T. Yanagitani, M, Suzuki, and K. Wasa,
      “Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film,” 
      Proc. IEEE Freq. Contr. Symp. pp. 119-120, (2014).
    72. K. Wasa, T. Matsushima1, H. Adachi, T. Matsunaga, M. Suzuki, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshida, S. Tanaka, and S. Trolier-McKinstry,
      “PZT-based high coupling with low permittivity thin films,”
      Proc. 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symp., pp. 69-72, (2013).
    73. M. Suzuki, T. Yanagitani, and H. Odagawa,
      “Polarization inverted (0001) / (000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode,”
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1922-1924, (2012).
    74. T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, and M. Matsukawa,
      “Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 2187-2190, (2012).
    75. M. Suzuki, and T. Yanagitani, 
      “C-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1230-1233 (2011).
    76. M. Suzuki, and T. Yanagitani,
      “Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 312-315 (2011).
    77. Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “C-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 810-813 (2011).
    78. T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, and M. Matsukawa,
      “Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1099-1102 (2011).
    79. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 2317-2320 (2011).
    80. T. Yanagitani, K. Arakawa, K. Kano, A. Teshigahara, and M. Akiyama,
      “Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 2095-2098, (2010).
    81. M Suzuki, and T. Yanagitani, “Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1478-1481, (2010).
    82. K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, and M. Akiyama,
      “Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1050-1053, (2010).
    83. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10)textured ZnO films by RF bias sputtering” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1060-1063, (2010).
    84. T. Yanagitani, H. Sano, and M. Matsukawa,
      “Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp.pp. 1074-1077 (2009).
    85. N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 2162-2165 (2009).
    86. T. Yanagitani, and M. Kiuchi,
      “Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 90-93 (2008).
    87. T. Yanagitani, Y. Yoshida, and M. Matsukawa,
      “Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1487-1490 (2008).
    88. T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films,” 
      Acoustics 08 Paris, pp. 4987-4992, J. Acoust. Soc. Am. 123, 3647 (2008).
    89. T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, and M. Matsukawa,
      “Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering,” 
      Acoustics 08 Paris, pp. 4987-4992, J. Acoust. Soc. Am. 123, 3647 (2008).
    90. T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007., pp. 1874-1877, (2007).
    91. T. Yanagitani, and M. Kiuchi,
      “Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1413-1416, (2007).
    92. T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp. 2007., pp. 1229-1232, (2007).
    93. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO layer/silica glass substrate structures,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 280-283, (2007).
    94. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Electromechanical coupling coefficient k15 and crystallites alignment of (11-20) textured ZnO film,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1463-1466, (2006).
    95. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Temperature characteristics of pure shear mode FBARs consisting of (11-20) textured ZnO films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp.., pp. 1459-1462, (2006).
    96. T. Yanagitani, N. Mishima, M. Matsukawa, and Y. Watanabe,
      “Electromechanical coupling coefficient k15 of (11-20) textured ZnO films,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 1824-1827, (2005).
    97. T. Yanagitani, T. Nohara, M. Matsukawa, Y. Watanabe, and T. Otani,
      “Shear wave transducer using (11-20) textured ZnO film,” 
      Proc. IEEE Ultrason. Symp., pp. 906-909, (2004).

    解説記事

    1. 柳谷隆彦i,
      “「超音波映像装置用の耐電力性プローブ向けの新しいエピタキシャル圧電薄膜材料」”
      非破壊検査 vol. 70 no. 9 (2021).
    2. 柳谷隆彦
      「ScAlN圧電薄膜の高品質化に向けたScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンの抑制～電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較～」
      真空ジャーナル No. 170, pp. 11-15, Sep. (2019).
    3. 高柳真司、柳谷隆彦
      「スパッタ成膜中にSc金属から発生する高速負イオンがScAlN薄膜の圧電性に及ぼす影響」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 30, pp. - (2018).
    4. 森剛志、柳谷隆彦
      「Al極性ScAlNとO極性ZnO薄膜を用いた多層構造の高効率超音波トランスデューサ」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 29, pp. 84-87 (2016).
    5. 柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳 真司
      「非破壊検査用の高分解能超音波プローブ」
      日本音響学会誌 vol. 71, no. 5, pp. 230-238 (2015)
    6. 鈴木雅視、柳谷隆彦
      「c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 24, pp. 78-82 (2012).
    7. 柳谷隆彦,
      「超高周波、高Ｑ値、高圧電性、高キュリー温度の両立に向けて」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 23, pp. 40-44 (2011).
    8. 高柳 真司、松川真美、渡辺好章、柳谷隆彦
      「RFバイアススパッタ法による簡便なc軸平行配向ZnO膜の形成--RFバイアスを用いたイオン照射による結晶配向制御」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 23, pp. 59-62 (2011).
    9. 守里直希、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
      「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 22, pp. 60-65 (2010).
    10. 柳谷隆彦、木内正人、松川真美
      「(11-20)配向AlN薄膜を用いた純横波モード共振子」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 22, 1・2月号 pp. 46-49 (2010). 
    11. 柳谷隆彦、吉田泰祐、佐野 広幸、松川真美
      「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価に関する検討」
      超音波テクノ(日本工業出版) vol. 21, 9・10月号 pp. 35-38 (2009).
    12. 柳谷隆彦，木内正人
      「イオン照射によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討」
      超音波テクノ（日本工業出版）vol. 20, 1・2月号 pp. 67-70 (2008).
    13. 松尾卓也，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      「c軸傾斜配向ZnO膜の開発～高い横波変換効率の実現～」
      超音波テクノ（日本工業出版）vol. 20, 1・2月号 pp. 75-78 (2008).
    14. 田中厚志，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      「面内配向ZnO膜のSH型SAW伝搬特性」
      超音波テクノ（日本工業出版）vol. 19, 11･12月号 (2007)

    主な知的財産権

      特許（出願２３件　特許取得８件）

      • 柳谷隆彦，渡辺好章，「薄膜製造方法」，特許第3561745号
      • 渡辺好章，柳谷隆彦，「薄膜製造方法」，特許第3932458号
      • 柳谷隆彦，渡辺好章，松川真美，松尾卓也，「超音波トランスデューサ」，特許第4780500号
      • 渡辺好章，柳谷隆彦，「高次モード薄膜共振器」，特許第4784815号
      • 渡辺好章，柳谷隆彦，「薄膜共振器」，特許第4849445号
      • 柳谷隆彦，木内正人，「薄膜製造方法」，特許第5007973号
      • 西尾英俊，森嘉一，鶴亀宜崇，渡辺好章，柳谷隆彦，川本貴之
        「薄膜製造方法及び前記薄膜製造方法により製造された六方晶系圧電薄膜」，特許第5217051号
      • 柳谷隆彦，鈴木雅視，渡辺好章，「薄膜共振子」，特許第5747318号
      • 渡辺好章，柳谷隆彦，「薄膜共振器」，特開2007-036914
      • 木内正人，柳谷隆彦，「薄膜製造方法」特開2008-147214
      • 柳谷隆彦，守里直希，松川真美，渡辺好章，「薄膜共振子」，特開2010-178543
      • Y. Watanabe, T. Yanagitani, “Thin film producing method,” 
        United States Patent, No. US 7951272 B2.
      • H. Nishio, Y. Mori; Y. Tsurukame, T. Kawamoto; Y. Watanabe, T. Yanagitani
        “Thin film producing method and hexagonal piezoelectric thin film produced thereby”
        United States Patent Application Pubrication, No. US20100133091A1
      • 柳谷隆彦，高柳真司，松川真美，渡辺好章，「薄膜製造方法及び装置」，特開2011-157584
      • 柳谷隆彦、鈴木雅視、渡辺好章，「ウルツ鉱圧電体薄膜、該薄膜の製造方法及び製造装置、並びに薄膜共振子」，特開2012-116736
      • 藤澤隆志、川本貴之，森嘉一，渡辺好章，柳谷隆彦，「薄膜の配向制御方法及び薄膜製造方法」，特開2013-256705
      • 高羅友輔、柳谷隆彦，「超音波探触子及び超音波探傷システム」，特開2016-036071
      • 高羅友輔、柳谷隆彦，「超音波探触子及び超音波探傷システム」，特開2016-145732
      • 大野茂、住川健太、高橋卓也、柳谷隆彦，「超音波探触子および超音波検査装置」，特開2017-17458
      • S. Oono、K. Sumikawa、T. Takahashi、T. Yanagitani，「Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus」，United States Patent Application Pubrication, US-A1-180188214
      • S. Oono、K. Sumikawa、T. Takahashi、T. Yanagitani，「Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus」，CN Application, CN107710786A
      • 柳谷隆彦，「圧電素子及び圧電変換装置」，特開2017-224969
      • 柳谷隆彦，唐澤嶺，「トランス及び該トランスを用いたレクテナ」，特開2018-190800

    電子情報通信学会技術研究報告

    1. 泉航太、柳谷隆彦
      「c軸ジグザク分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ」
      電子情報通信学会技術研究報告 vol. 121, no. 348, US2021-59, pp. 5-10, (2022).
    2. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング」
      電子情報通信学会技術研究報告 vol. 121, no. 272, US2021-42, pp. 13-18, (2021).
    3. 岩田直也、柳谷隆彦
      「スパッタ法により作製した0.3mmの10MHz帯ScAlN薄板トランスデューサ」
      電子情報通信学会技術研究報告 vol. 121, no. 272, US2021-432, pp. 19-24, (2021).
    4. 木下紗里那、柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス」
      電子情報通信学会技術研究報告 vol. 120, no. 174, US2020-35, pp. 45-50, (2020).
    5. 木原流唯、髙柳真司、柳谷隆彦
      「ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響」
      電子情報通信学会技術研究報告 vol. 120, no. 174, US2020-36, pp. 51-56, (2020).
    6. 龍見亮汰、 柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較」
      電子情報通信学会技術研究報告 vol. 120, no. 174, US2020-37, pp. 57-60, (2020).
    7. 冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦 「低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 120, no. 222, US2020-43, pp. 1-6, (2020).
    8. 五月女巧、柳谷隆彦 「AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 120, no. 222, US2020-49, pp. 34-39, (2020).
    9. 天野凌輔，山川愉生，柳谷隆彦 「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN圧電薄膜を用いた複素反射率法による液体試料の粘弾性評価」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 119, no. 152, US2019-31, pp. 19-23, (2019).
    10. 宮田昌哉，高柳真司，松川真美，柳谷隆彦 「ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 119, no. 152, US2019-34, pp. 33-37, (2019).
    11. 篁佑太，高柳真司，松川真美，柳谷隆彦 「石英ガラス管全面へのc軸平行配向ZnO薄膜の成膜」 電子情報通信学会技術研究報告 vol. 118, no. 277, US2018-68, pp. 25-30, (2018).
    12. 唐澤嶺、高柳真司、遠藤結佳、今川　誠、森坂啓介、鈴木　雄、柳谷隆彦 「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ～」 電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 37-42 (2018).
    13. 清水貴博、森剛志、柳谷隆彦 「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」 電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 13-18 (2018).
    14. 戸塚誠、柳谷隆彦 「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ～ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ～」 電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 19-24 (2018).
    15. 山川愉生、五月女巧、唐澤嶺、柳谷隆彦 「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 25-29 (2018).
    16. 矢崎花、五月女巧、唐澤　嶺、高柳真司、吉田憲司、柳谷隆彦 「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 229, US2018-53, pp. 31-35 (2018).
    17. 唐澤嶺、柳谷隆彦、「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 23-27 (2018).
    18. 清水貴博、柳谷隆彦、「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」電子情報通信学会技術研究報告vol. 118, no. 48, pp. 29-34 (2018).
    19. 山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦、「ScAlN薄膜/低TCF基板構造のすべりモード共振子を用いたMHz帯-GHz帯同時粘性評価」電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-42, pp. 61-66, (2017).
    20. 川部昌彦、柳谷隆彦、柴垣慶明、高柳真司、鈴木雅視、松川真美、「コヒーレントフォノン励起を用いたBrillouin散乱法による縦波・横波音速測定の高速化」電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 155, US2017-44, pp. 71-74, (2017).
    21. 佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦、「電気機械結合係数kt2=19％のScAlN厚膜を用いた低周波帯80MHzトランスデューサ」電子情報通信学会技術研究報告vol. 117, no. 14, US2017-12, pp.59-63, (2017).
    22. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦、「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランデューサ」電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US2016-1, pp.1-6, (2016).
    23. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦、「GHｚ帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」電子情報通信学会技術研究報告vol. 116, no. 5, US3026-1, pp.7-12, (2016).
    24. 寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄，「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.23-26, (2015).
    25. 趙恩慧、川部昌彦、高柳真司、鈴木雅視、柳谷隆彦、松川真美「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 246, pp.27-30, (2015).
    26. 柳谷隆彦、市橋隼人、鈴木雅視、高柳真司、松川真美，「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.37-42, (2015).
    27. 岡峰生、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美，「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.31-35, (2015).
    28. 日山彰子、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.19-24, (2015).
    29. 高柳真司、柳谷隆彦、Jean-Claude Gerbedoen，Abdelkrim Talbi，松川真美，Philippe Pernod，「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 207, pp.25-30, (2015).
    30. 富田昇太、柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳真司、松川真美「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」電子情報通信学会技術研究報告vol. 115, no. 102, pp.23-28, (2015).
    31. 片田克吉、柳谷隆彦、鈴木雅視、和佐清孝、「PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子」電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 263, pp. 29-34, (2014).
    32. 常田裕子、松川沙弥果、眞野功、水野勝紀、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、「超音波により励起される骨中電位の極性について」電子情報通信学会技術研究報告vol. 114, no. 229, pp. 19-22, (2014).
    33. 生駒遼、柳谷隆彦、高柳真司、鈴木雅視、小田川裕之、松川真美、「RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた極性反転ZnO薄膜の作製」電子情報通信学会技術研究報告vol. 112, no. 213, pp. 21-25, (2012).
    34. 中東佑太、柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章「c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数」電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 23-26 (2011).
    35. 鈴木雅視，菅沼信広，柳谷隆彦，「IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用」電子情報通信学会技術研究報告vol. 111, no. 215, pp. 43-48 (2011).
    36. 杉本剛士、佐野広幸、柳谷隆彦、高柳真司、「ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定」電子情報通信学会技術研究報告 vol. 111, no. 158, pp. 15-19, (2011).
    37. 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章「RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成 ～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響～」電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 75-80, (2010).
    38. 佐野広幸、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、「Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測」電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 99-103, (2010).
    39. 中辻知宏、山本和史、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、山崎薫「ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性　～ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ～」電子情報通信学会技術研究報告vol. 110, no. 213, pp. 63-68, (2010).
    40. 柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人「c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性」電子情報通信学会技術研究報告 vol. 110, no. 213, pp. 81-86, (2010).
    41. 川本貴之，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，森嘉一，佐々木昌，大場正利、「直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 65-70, (2009)
    42. 柳谷隆彦，佐野広幸，松川真美、「Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 59-64, (2009)
    43. 守里直希，高柳真司，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章、「c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, no. 213, pp. 53-58 (2009)
    44. 中辻知宏，矢追佑一郎，松川真美，山本和史，山崎薫，柳谷隆彦、「ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速　～ ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響 ～、電子情報通信学会技術研究報告vol. 109, pp. 25-29, (2009)
    45. 田中厚志，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章、「(11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 233, pp. 31-36, (2007)
    46. 矢追佑一郎，水川裕文，松川真美，柳谷隆彦，山本和史，大和雄，山崎薫，長野昭、「牛皮質骨の微細構造とHAp結晶配向が長軸方向縦波音速に与える影響」電子情報通信学会技術研究報告vol. 107, no. 96, pp. 33-36, (2007)
    47. 村田茂雄，川本貴之，松川真美，柳谷隆彦、「ブリユアン散乱法によるGHz域の増幅横波フォノンの観測」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 295, pp. 27-30, (2006)
    48. 松尾卓也，田中厚志，松川真美，渡辺好章，柳谷隆彦、「c軸傾斜配向ZnO膜の作製および厚みすべりモード電気機械結合係数」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 106, no. 250, pp. 19-24, (2006)
    49. 松川真美，水川裕文，柳谷隆彦，大和雄，山崎薫，長野昭、「牛皮質骨の構造と縦波伝搬速度の異方性について」電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 346, pp. 15-18, (2005)
    50. 三島夏樹，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章、「面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 105, no. 312, pp. 7-12, (2005)
    51. 野原拓也，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦、「RFマグネトロンスパッタ法により作成した面内配向ZnO圧電薄膜の特性」、電子情報通信学会技術研究報告vol. 104, no. 468, pp. 43-48, (2004)
    52. 柳谷隆彦，野原拓也，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦、「横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発」電子情報通信学会技術研究報告vol. 103, no. 340, pp. 31-36, (2003)

    著書

    • 物理学実験 出版社:学術図書出版社 編集
    • Acoustic wave-From Microdevices to Helioseismology (Takahiko Yanagitani Chapter: Shear mode piezoelectric thin film resonators ) 出版社: Intech, Marco G. Beghi監修, 20ページ分担執筆 (2011), 
      執筆箇所4000件ダウンロード
    • 「次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集」分担執筆、
      柳谷隆彦、「横波モード圧電薄膜共振子を用いた抗原抗体反応ＭＥＭＳセンサの開発」
      出版社：技術情報協会 (2014), pp. 142－148
    • 「音響キーワードブック」分担執筆、
      柳谷隆彦、「圧電材料」出版社：コロナ社 (2016)

    主な国際会議発表（200件以上、登壇18件）

      【2022年発表】

    1. S. Kuninobu, N. Ishi and T. Yanagitani,
      “Bulk ScAlN Plate Ultrasonic Transducer in the 10 MHz Range,”
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    2. K. Nakamura, Y. Koike, Y. Sato and T. Yanagitani,
      “Fingerprint imaging using GHz PbTiO3 epitaxial thin film ultrasonic transducer,”
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    3. Y. Shimizu and T. Yanagitani,
      “Mechanical Q factor extraction of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial thin films without removing substrate,”
      2022 US-Japan Seminar on Dielectric and Piezoelectric Ceramics
    4. Y. Shimizu and T. Yanagitani,
      “Evaluation of mechanical Q factor of sputter-grown Pb(ZrxTi1-x)O3 epitaxial films without removing substrate,”
      IEEE IUS 2022
    5. Y. Shimizu and T. Yanagitani,
      “Fabrication of high kt2 and k’352 Sc0.4Al0.6N thin films by RF magnetron sputtering,”
      IEEE IUS 2022
    6. S. Kudo and T. Yanagitani,
      “Sputter epitaxial (1012) LiNbO3 film / (1120) AZO / (1012) Al2O3 shear mode thin film resonators,”
      IEEE IUS 2022
    7. S. Kudo, K. Ekida, J. Jia and T. Yanagitani,
      “IBAD c-axis parallel ZnO piezoelectric film stack?for gyroscope applications,”
      IEEE IUS 2022
    8. S. Li, J. Jia, N. Iwata and T. Yanagitani,
      “Experimental and theoretical investigation of enhanced electromechanical properties in YbAlN and YbGaN films,”
      IEEE IUS 2022
    9. N. Ishii, S. Kobayashi and T. Yanagitani,
      “GHz electromechanical coupling hysteresis curves for ferroelectric,”
      IEEE IUS 2022
    10. N. Ishii and T. Yanagitani,
      “Polarization inverted 2 layer ScAlN thin film resonator fabricated by applying external electric field,”
      IEEE IUS 2022
    11. Y. Koike, Y. Sato and T. Yanagitani,
      “Epitaxial PbTiO3 ultrasonic transducer for higher resolution of fingerprint imaging using GHz reflectometry of back side of substrate,”
      IEEE IUS 2022
    12. Y. Koike, R. Seki and T. Yanagitani,
      “A piezoelectric gyroscope with tilted c-axis ScAlN thin-films,”
      IEEE IUS 2022
    13. S. Shibata, K. Izumi and T. Yanagitani,
      “Transversal type BAW filter based on polarization-inverted ScAlN multilayers,”
      IEEE IUS 2022
    14. S. Shibata and T. Yanagitani,
      “Power Durability Evaluation of Higher-order Mode Polarization-inverted ScAlN Thin Film Resonators,”
      IEEE IUS 2022
    15. S. Tokai and T. Yanagitani,
      “Fabrication of epitaxial piezoelectric layer on acoustic Bragg reflector using epitaxial sacrificial layer,”
      IEEE IUS 2022
    16. Y. Shimano, S. Takayanagi and T. Yanagitani,
      “Grow of O-polar and Zn polar ferroelectric MgZnO thin films controlled by sputtering geometry,”
      IEEE IUS 2022
    17. Y. Shimano, H. Kishi, S. Kudo and T. Yanagitani,
      “Quasi-shear mode electromechanical coupling coefficient of c-axis tilted MgZnO thin films,”
      IEEE IUS 2022
    18. M. Suzuki, N. Ishii, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “A method for evaluating sole mechanical properties of acoustic Bragg reflector by pulse echo technique in the GHz range,”
      IEEE IUS 2022
    19. M. Suzuki, Y. Shimizu and T. Yanagitani,
      “Extracting Q factor of the piezoelectric thin films from film/high-Q substrate HBAR structure,”
      IEEE IUS 2022
    20. K. Nakamura, S. Kudo and T. Yanagitani,
      “Improvement of electromechanical coupling coefficient of piezoelectric LiNbO3 by doping praseodymium,”
      IEEE IUS 2022
    21. S. Kudo, S. Tokai and T. Yanagitani,
      “Epitaxial piezoelectric layer SMR fabricated using epitaxial sacrificial layer process,”
      IEEE IC-MAM 2022
    22. S. Kudo and T. Yanagitani,
      “Thickness shear mode epitaxial (1012) LiNbO3 (1120) AZO / (1012) Al2O3 BAW resonator,”
      IEEE IC-MAM 2022
    23. N. ishi, and T. Yanagitani,
      “A method to evaluate the mechanical transmission loss of the sole Bragg reflector by using GHz pulse echo technique,”
      IEEE IC-MAM 2022
    24. Y. Koike, and T. Yanagitani,
      “Fingerprint imaging in GHz using PbTiO3 epitaxial piezoelectric thin films,”
      IEEE IC-MAM 2022

      25. 【2021年発表】

    25. Y. Shimizu, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    26. N. Bai, and T. Yanagitani,
      “0.1 mm Thick ScAlN Film: Application to MHz Transducer and Precise Lattice Constant Measurement,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    27. S. Kuninobu, N. Iwata, and T. Yanagitani,
      “Effect of Epitaxial Stress in PbTiO3 Epitaxial Film Resonators on kt2 Hysteresis Curve,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    28. K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “Precise Extraction of kt2 for Piezoelectric Film/Substrate Structure by Unembedding Parasitic Inductance,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    29. Y. Shimizu, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “Comparison of the kt2 Extraction Methods of Piezoelectric Films in Film/Substrate Structure and SelfStanding Film Structure,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    30. N. Iwata, and T. Yanagitani,
      “Thick Epitaxial ScAlN Film/ (111) Pt/ (0001) Sapphire Ultrasonic Transducer in the 30 MHz,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    31. Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Epitaxial PbTiO3 Ultrasonic Transducer for Fingerprint Imaging in the Giga-Hertz Range Using the Reflectometry of Back Side of Substrate,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    32. N. Ishii, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “A Method for Evaluating Acoustic Bragg Reflector by Ultrasonic Microscope,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    33. Y. Miho, and T. Yanagitani,
      “Detection of Protein Binding by Shear Mode Ultrasonic Reflection Coefficients Using c-Axis Tilted ScAlN Film Above 100MHz,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    34. T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    35. Y. Koike, J. Jia, M. Suzuki, and T. Yanagitani,
      “Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Velocity in YbGaN Films by DFT,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    36. H. Kishi, S. Kobayashi, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers for Passive Voltage Amplification Using the Epitaxial ZnO Thin Films,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)

      37. 【2020年発表】

    37. Y. Shimizu, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    38. N. Bai, and T. Yanagitani,
      “0.1 mm Thick ScAlN Film: Application to MHz Transducer and Precise Lattice Constant Measurement,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    39. S. Kuninobu, N. Iwata, and T. Yanagitani,
      “Effect of Epitaxial Stress in PbTiO3 Epitaxial Film Resonators on kt2 Hysteresis Curve,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    40. K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “Precise Extraction of kt2 for Piezoelectric Film/Substrate Structure by Unembedding Parasitic Inductance,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    41. Y. Shimizu, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “Comparison of the kt2 Extraction Methods of Piezoelectric Films in Film/Substrate Structure and SelfStanding Film Structure,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    42. N. Iwata, and T. Yanagitani,
      “Thick Epitaxial ScAlN Film/ (111) Pt/ (0001) Sapphire Ultrasonic Transducer in the 30 MHz,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    43. Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Epitaxial PbTiO3 Ultrasonic Transducer for Fingerprint Imaging in the Giga-Hertz Range Using the Reflectometry of Back Side of Substrate,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    44. N. Ishii, K. Kondo, and T. Yanagitani,
      “A Method for Evaluating Acoustic Bragg Reflector by Ultrasonic Microscope,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    45. Y. Miho, and T. Yanagitani,
      “Detection of Protein Binding by Shear Mode Ultrasonic Reflection Coefficients Using c-Axis Tilted ScAlN Film Above 100MHz,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    46. T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “c-Axis-Tilted ScAlN Film on Silicon Substrate for Surface Acoustic Wave Device,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    47. Y. Koike, J. Jia, M. Suzuki, and T. Yanagitani,
      “Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Velocity in YbGaN Films by DFT,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)
    48. H. Kishi, S. Kobayashi, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers for Passive Voltage Amplification Using the Epitaxial ZnO Thin Films,”
      2021 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2021)

      49. 【2020年発表】

    49. S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “GHz BAW Piezoelectric Transformers with High Voltage Gain Using the Combination of High and Low Dielectric Constant Thin Films,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    50. K. Izumi and, T. Yanagitani,
      “Enhancement of GHz Electromechanical Coupling Coefficient kt2 of MgZnO and CaZnO Thin Film BAW Resonators,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    51. N. Iwata, S. Kinoshita, J. Jia, and T. Yanagitani,
      “Experimental and Theoretical Investigation of kt2 and Mechanical Quality Factor (Qm) in YbAlN Films Asing DFT,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    52. Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Zig-Zag ScAlN Multilayer SMR for High Power BAW Filter Application Such as RF Base Station,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    53. Sarina Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “Self-Standing FBAR Transformer Based on Shear Mode Zig-Zag ScAlN Multilayer for Rectenna Application,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    54. R. Tatsumi, and T. Yanagitani,
      “Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Derived by Electromagnetic Signal Including No Acoustic Losses,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    55. T. Tominaga, S. Takayanagi, and T. Yanagitani,
      “Deterioration in the Piezoelectric Property of ScAlN Thin Films by Negative Ion Bombardment Increased in Low-Pressure Sputtering Deposition,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    56. R. Tatsumi, and T. Yanagitani,
      “Accurate Extraction of kt2 of Piezoelectric Film/Substrate Structure by Conversion Loss Method Subtracting Experimental Acoustic Losses in the Substrate ,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    57. K. Izumi, and T. Yanagitani,
      “c-Axis Oriented ScAlN/ SiO2 Multilayer BAW Transformer for Rectifying Antenna Applications,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    58. T. Soutome, and T. Yanagitani,
      “ScAlN Nano-Rods Structure Thin Film Grown by a Self-Shadowing Oblique Sputtering for High Electromechanical Coupling Transducer Applications,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    59. T. Soutome, and T. Yanagitani,
      “Measurement of Antiresonant Frequency During DC Bias Voltage Application for Analysis of Second Harmonic Response of ScAlN on SMR,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    60. N. Iwata, S. Kinoshita, and T. Yanagitani,
      “Extracting Mechanical Q Factor of the Pure AlN, ZnO, and ScAlN Film Without Etching Substrate,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    61. Y. Sato, and T. Yanagitani,
      “Giga-Hertz Piezoelectric Epitaxial PZT/La-SrTiO3 Transducer for the Application of Fingerprint Imaging,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    62. M. Watabe, S. Takayanagi and T. Yanagitani,
      “Measurement of Time Response of Electrical Properties in Thickness Shear Mode Resonator with Liquid Loadings,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    63. S. Takayanagi, K. Kimoto and T. Yanagitani,
      “Improvement of Crystallization and Shear-Mode Electromechanical Coupling of c-Axis-ParallelOriented ZnO Film by Annealing Treatment,,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    64. K. Tominaga, S. Takayanagi and T. Yanagitani,
      “Effect of Negative-Ion-Bombardment Suppression by Applying Voltage to Grids Set Between Substrate and Sputtering Target During Sputtering Deposition on Crystalline Orientation of ZnO Film,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)
    65. Y. Korai, M. Suzuki and T. Yanagitani,
      “Multilayer Piezoelectric ScAlN Film Transducers for Ultrasonic Microscopy in the VHF Range,”
      2020 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS2020)

      66. 【2019年発表】

    66. Y. Mazda and T. Yanagitani, “Giant piezoelectricity and temperature characteristics of free-standing sputter-epitaxial PbTiO3 plates,”
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies　(PACRIM13)
    67. R. Kihara, S. Takayanagi and T. Yanagitani, “ Improvement of crystalline orientation and kt 2 of ScAlN thin films by suppression of negative ions generation from sputtering target,”
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies　(PACRIM13)
    68. T. Sotome and T. Yanagitani, “ Measurement of lattice strain change in ScAlN piezoelectric films by XRD for kt2 estimation without removing substrate,”
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies　(PACRIM13)
    69. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “BAW type transformer with ScAlN multilayer for rectifying antenna,”
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies　(PACRIM13)
    70. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “A method for extracting mechanical Q factor of the piezoelectric film without etching substrate,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    71. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “Shear mode polarity inverted ScAlN multilayer for application to BAW transformer in rectifying antenna,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    72. T. Soutome and T. Yanagitani, “A method to estimate kt2 of piezoelectric films from the change of lattice strain by XRD without removing substrate,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    73. T. Wakabayashi, S. Takayanagi, Y. Takamura, M. Matsukawa, and T. Yanagitani, “Improvement of C-Axis parallel orientation of ZnO film on silica glass pipes with various diameters for SH-SAW pipe sensor,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    74. R. Kihara and T. Yanagitani, “Effect of negative ions generation from sputtering target on crystalline orientation and kt2 of ScAlN thin films,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    75. C. Masamune and T. Yanagitani, “Ion beam induced A-Axis in-plane oriented C-Axis oriented AlN thin film growth for high-Q BAW resonator application,”
      2019 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS)
    76. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “Estimation of the mechanical Q factor of the piezoelectric film without removing substrate,” International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    77. S. Kinoshita and T. Yanagitani, “ScAlN thin film stack for BAW transformer in rectifying antenna,”
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators (IWPMA2019)
    78. Y. Mazda and T. Yanagitani, “PZT family epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
      ICoSEM2019
    79. C. Masamune, R. Karasawa and T. Yanagitani, “ScAlN free–standing 0.1 mm piezoelectric plates in the 30–50 MHz resonance frequency,”
      ICoSEM2019

      【2018年発表】

    80. R. Karasawa and T. Yanagitani, “Polarity inverted ScAlN multilayer for application to transformer in rectifying antenna,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    81. T. Shimidzu and Ynagitani, “DC-induced piezoelectric cubic PMN-PT/piezoelectric tetragonal PZT epitaxial stack polarity inverted resonators for frequency switchable filters,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    82. M. Totsuka and T. Yanagitani, “Extraction of electromechanical coupling coefficient of film / substrate structure by using the ration of a third mode resonant frequency to a fundamental mode resonant frequency,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    83. Y. Yamakawa and T. Yanagitani, “Evaluation of viscoelactic properties of liquids based on the oblique incidence technology using shear horizontal waves at frequencies above 100 megahertz from c-axis tilted ScAlN thin films,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    84. H. Yazaki, T. Sotome, S. Takayanagi, K. Yoshida, and T. Yanagitani, “c-axis tilted ScAlN film shear mode resonators for biosensing,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    85. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M.Imakawa, and K. Morisaka, “The influence of negative ions generation on the arc-melted and hot press sintered ScAlN alloy targets to the crystalline orientation and kt2 of the ScAlN films,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    86. Y. Mazuda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “PZT epitaxial thick film for ultrasonic transducer at frequencies below 100MHz,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    87. C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN free-standing 0.1mm plates with 30-50 MHz resonance frequency,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    88. T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “High efficiency ultrasonic transducer using polarity inverted ZnO thin film,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    89. R. Noda, T. Shimidzu, and K. Wasa, “Investigation of morphotropic phase boundary in sputter-grown Pb(Zrx, Ti1-x)O3 epitaxial films,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    90. S. Kinoshita, M. Totsuka, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “A new method for extracting Qfactor of the piezoelectric film without removing substrate,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    91. H.Igeta, M. Totsuka, M. Suzuki, and T. Yanagitani, “Temperature characteristics of ScAlN/SiO2 BAW resonators,”
      2018 IEEE International Ultrasonics Symposium
    92. Y. Mazda, C. Masamune, R. Karasawa, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “Thick PZT epitaxial film and ScAlN film for ultrasonic transducer below 100 MHz,”
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    93. T. Majima, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “Polarity inverted high efficiency ultrasonic transducer with (0001)ZnO/(000-1)ZnO/SiO2 glass buffer rod,”
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    94. M. Totsuka and T. Yanagitani, “Comparison of kt2 extraction method from film/substrate structure by using the ratio of resonant frequencies with conventional methods,”
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    95. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi, M. Imakawa, K. orisaka, Y. uzuki, and T. Yanagitani, “Influence of negative ions generation on the quality of ScAlN films grown by sputtering targets with different concentration of oxygen and carbon,”
      International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators(IWPMA2018)
    96. T. Yanagitani, “A method for extracting GHz electromechanical coupling coefficient from piezoelectric film/substrate structure without removing substrate,”
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    97. R. Noda and T. Yanagitani, “Investigation of MPB in Pb(Zrx,Ti1-x)O3 epitaxial films by RF magnetron sputtering growth,”
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    98. T. Shimidzu and T. Yanagitani, “Frequency switchable polarity inverted resonators based on cubic PMN-PT/tetragonal PZT epitaxial stack,”
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics
    99. Y. Mazda and T. Yanagitani, “Thick PZT epitaxial film growth for ultrasonic transducer application below 100 MHz,”
      12th Japan-Korea Conference on Ferroelectrics

      100. 【2017年発表】

    100. R.Noda, T.Shimidzu, K.Wasa, and T. Yanagitani, “Frequency switchable multi-layered paraelectric-BST/ferroelectric-BaTiO3 stack epitaxial film resonator,”
      IUMRS-ICA2017
    101. T.Shimidzu, K.Wasa, and T. Yanagitani, “DC field-induced piezoelectricity of cubic perovskite 0.95Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-0.05PbTiO3 epitaxial film for RF switchable resonator,”
      IUMRS-ICA2017
    102. R. Karasawa, and T. Yanagitani, “C-axis zig-zag polarization inverted ScAlN multilayer for FBAR transformer rectifying antenna,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    103. Y. Yamakawa, K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “A new type wide-frequency-range shear viscosity sensor using caxis tilted ScAlN thin film on temperature stable AT-cut quartz thick plate,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    104. K-h. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “High electromechanical coefficient kt 2=19% thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic transducer in low frequency of 80 MHz,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    105. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “The frequency wwitchable multi-layered BST/BaTiO3 epitaxial film resonator,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    106. S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani, “Film growth of c-axis tilted ScAlN on the sapphire substrate for SAW devices,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    107. S. Takayanagi, and T. Yanagitani “Effects of negative oxygen ions generated during Sc ingot sputtering on electromechanical coupling of ScAlN film ,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    108. Y. Takamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa, Chizu Ishida, and T. Yanagitani, “Film Growth of C-Axis parallel oriented ZnO on entire surface of silica glass pipe for SH-SAW pipe sensor,”
      2017 IEEE International Ultrason. Symp.
    109. K.-H. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
      "Thick ScAlN film for high efficient ultrasonic transducer in low frequency of 81 MHz"
      The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'17)
    110. Y. Yamakawa, K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
      "Broadband frequency viscosity measurement using low TCF shear mode resonators consisting of c-axis tilted ScAlN thin film on thick AT-Cut quartz plate"
      The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers'17)
    111. T. Shimizu; T.Mori, M. Suzuki; T. Yanagitani, and K. Wasa
      "Polarity inverted PZT/PbTiO3 ferroelectric epitaxial film for frequency switchable resonator filters"
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    112. Y. Yamakawa, R. Karasawa; T. Mori; K. Sano; M. Suzuki and T. Yanagitani
      "Liquid gigahertz viscosity sensors using shear mode c-axis tilted ScAlN piezoelectric thin films"
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    113. K. Sano, R. Karasawa, and T. Yanagitani
      "High electromechanical coupling thick ScAlN piezoelectric films for ultrasonic generation in low frequency of 80MHz"
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)
    114. T. Yanagitani, T. Mori, K. Wasa、
      "Electromechanical coupling hysteresis curves of PZT epitaxial ferroelectric films determined by gigahertz ultrasonic method"
      12th Pacific Rim Conference on Ceramic and Glass Technology (PACRIM 12)

      115. 【2016年発表】

    115. S.Takayanagi, S.Hirayama, M.Matsukawa, T.Yanagitani
      Liquid loading characteristics of multiple SH-wave roundtrip in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe"
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    116. Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, K. Mori, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      "Rapid wave velocity measurement by Brillouin scattering using artificially induced phonon"
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    117. S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
      P3-B2-1 "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW in c-axis-parallel-oriented ScAlN film/high-velocitysubstrate structures"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp,
    118. T. Mori, M. Suzuki, S. Takayanagi, T. Yanagitani
      P3-B2-7 "Electromechanicalcoupling hysteresis curvesof Pb(Zr,Ti)O3and PbTiO3epitaxial films determinedby ultrasonic measurementusing film/substratestructure"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    119. T. Mori, M. Suzuki, T. Yanagitani
      6H-1 "The frequencyswitchable resonatorconsisting of polarityinverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3epitaxial multilayer"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    120. R. Iwanaga, S. Takayanagi, Y. Watanabe, M. Matsukawa, T. Tsuchiya, T. Yanagitani
      6H-2 "Evaluation of viscousliquid using resonance andanti-resonance of thicknessshearmode resonatorconsisting of c-axis paralleloriented ZnO film"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    121. S. Takayanagi1, M.Matsukawa, T. Yanagitani
      6H-3 "Effects of energeticnegative ions generatedfrom sputtering targets onScAlN film growth" 2016 IEEE International Ultrason. Symp
    122. K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
      6H-4 Improvement ofelectromechanical propertiesin c-axis parallel orientedZnO film by RF magnetronsputtering with negative ionbombardment"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    123. M. Kawabe, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Shibagaki, M. Suzuki, M. Matsukawa
      6K-1 "Rapid and simultaneousmeasurement of longitudinaland shear wave velocitiesby Brillouin scattering fromartificially induced phonons"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    124. S. Matsukawa, S. Mori, Isao Mano, T. Yanagitani, K. Mizuno, S.Takayanagi, M. Matsukawa1
      4K-2 "Anisotropic behavior ofinduced electric potentialsin bone by ultrasoundirradiation"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    125. S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, H. Ichihashi, M. Matsukawa
      P5-C2-4 "Brillouin scatteringstudy on piezoelectricstiffening effect in thethickness direction ofc-plane ZnO single crystal"
      2016 IEEE International Ultrason. Symp
    126. Takeshi Mori, Yui Yamakawa, Rei Karasawa, Ko-hei Sano,Takahiko Yanagitani, Shinji Takanayanagi
      "c-axis tilted ScAlN shear wave acoustic Bragg reflect resonator for gigahertz viscosity measurement"
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    127. Ko-hei Sano, Takeshi Mori, Rei Karasawa, Takahiko Yanagitani
      "Temperature stable liquid gigahertz viscosity sensors by combining shear mode piezoelectric ScAlN thin film and AT-cut quartz crystal plate"
      5th Joint Meeting of the Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan
    128. Takahiko Yanagitani, Takeshi Mori1,2, and Kiyotaka Wasa
      "Electromechanical coupling hysteresis curves of Pb(Zr,Ti)O3 epitaxial films determined by GHz ultrasonic method using film/substrate structure"
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016
    129. Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, and Kiyotaka Wasa
      "Polarity inverted Pb(Zr,Ti)O3/PbTiO3 epitaxial multilayer frequency switchable resonator in the GHz range"
      13th International Workshop on Piezoelectric Materials and Applications in Actuators & Energy Conversion Materials and Devices 2016

      130. 【2015年発表】

    130. PA-2 Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa
      “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    131. PA-3 Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki,
      “High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/O-polar (000-1) ZnO film resonator”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    132. P4A1-5 Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
      “Conductivity measurement of liquid by SH-SAW sensor consisting of IDT/(11-20) oriented ZnO film/silica glass substrate “
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    133. 6D-2 Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa
      “Fast wave velocity measurement by Brillouin scattering using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    134. 7D-3 Mineki Oka, Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
      “c-Axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    135. 6G-3 Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki
      “High order mode polarity inverted Al-polar (0001) ScAlN/Opolar (000-1) ZnO film resonator”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    136. 6G-4 Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
      “Elastic constant cij E tensors of (0001) ScxAl1-xN films (x=0-0.63)”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    137. 6G-5 Masashi Suzuki, and Takahiko Yanagitani 
      “Quasi-shear mode electromechanical coupling k'15 and shear wave velocity in c-axis tilted ScxAl1-xN films”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    138. P1C6-10 Sayaka Matsukawa, Hiroko Tsuneda, Isao Mano, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
      “Ultrasound radiation from bone transducer in the MHz range”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    139. P3C1-1 Takeshi Mori, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki 
      “c-axis parallel polarity inverted multilayer ZnO film resonators fabricated by grazing ion beam assisted RF magnetron sputtering”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    140. P3C1-2 Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
      “Shear mode properties of c-axis parallel oriented ScxAl1-xN films grown by RF bias sputtering“
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    141. P3C1-3 Shota Tomita, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa 
      “Measurement of acoustic wave velocity and refractive index in thickness direction of c-axis oriented ScAlN films by Brillouin scattering”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    142. P2C2-2 Yusuke Korai, Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
      “ScAlN thin film transducers for ultrasonic microscopy in the VHF range”
      2015 IEEE International Ultrasonics Symposium
    143. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, and T. Yamamoto,
      “High Tc /High Coupling Perovskite Thin Films,” 
      IEEE ISAF/IWATMD/PFM, pp. 1–4, (2014).
    144. “Multiple SH wave roundtrip type liquid sensor of pipe structure with c-axis parallel oriented ZnO film”
      S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi and M. Matsukawa,
      2015 International Congress of Ultrasonics 

      145. 【2014年発表】

    145. S. Hiyama, T. Yanagitani, S. Takayanagi, Y. Kato, M. Matsukawa
      Multiple shear wave roundtrips liquid sensor by c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe structure
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    146. T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K. Wasa
      Second overtone mode polarization inverted resonator consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 thin film
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    147. M. Suzuki, and T. Yanagitani,
      RF bias induced polarity inversion of ScAlN film for overtone mode BAW resonator
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    148. H. Ichihashi, T. Yanagitani, S. Takayanagi1, M. Matsukawa
      Effect of Sc concentration on shear wave velocities in ScAlN films measured by micro-Brillouin scattering technique
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    149. C. Takata, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      Effect of sputtering target temperature on crystalline orientations of ZnO piezoelectric films in RF magnetron sputtering
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    150. H. Tsuneda, I. Mano, E. Hernanz, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
      Polarity of piezoelectric properties in bone induced by ultrasound irradiation
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    151. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      Sezawa mode SAW with high electromechanical coupling at the boundary of polarization-inverted (000-1)/(0001) ZnO, AlN and ScAlN films
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2014年09月03日
    152. H. Odagawa, T. Yanagitani, Y. Cho
      Measurement of Polarization Structure in Layered Piezoelectric Thin Films Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
      European Conference on Application of Polar Dielectrics 2014
      2014年07月07日
    153. K. Katada, T. Yanagitani, M. Suzuki, K . Wasa
      Second harmonic mode polarization inverted resonator consisting of PbTiO3 thin film
      IEEE International Frequency Control Symposium
      2014年05月19日
    154. T. Yanagitani, K. Katada, M. Suzuki, K . Wasa
      High electromechanical coupling in PZT epitaxial thick film resonators at 550 degC
      IEEE International Frequency Control Symposium
      2014年05月19日
    155. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Yoshina, and S. Tanaka 
      High Tc / High Coupling Perovskite Thin Films
      2014 Joint IEEE ISAF-IWATMD-PFM
      2014年05月12日 

      156. 【2013年発表】

    156. K. Yoshida, T. Yanagitani, T. Kawamoto, S. Sasaki, M. Oba, Y. Kato, S. Takayanagi, Y. Watanabe
      Detection of antigen-antibody reaction by thickness-shear mode resonators consisting of caxis parallel oriented ZnO films
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
      2013年07月21日
    157. T. Yanagitani, M. Suzuki, K. Wasa
      Characterization of GHz electromechanical properties of PZT single crystalline thin Films without removing substrate
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 
      2013年07月21日
    158. K. Wasa, T. Matsushima, H. Adachi, T. Matsunaga, T. Yanagitani, T. Yamamoto, S. Trolier-McKinstry
      PZT-based high coupling with low permittivity thin films 
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 
      2013年07月21日
    159. M. Suzuki, T. Yanagitani
      Enhancement of electromechanical coupling kt in rare earth doped c-axis oriented GaN films
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
      2013年07月21日
    160. M. Suzuki, T. Yanagitani
      Electromechanical coupling kt and GHzl ongitudinal wave velocity in ScAlN films near phase boundary
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
      2013年07月21日 ｊ
    161. R. Hashimoto, T. Yanagitani, Ryo Ikoma, S. Takayanagi1, M. Suzuki, H. Odagawa, M. Matsukawa
      Polarity control of c-axis oriented ZnO films and application to polarity-inverted ZnO multilayer resonators
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
      2013年07月21日
    162. H. Ichihashi, T. Sugimoto, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
      Shear and longitudinal GHz elastic properties in GaN single crystals determined by Brillouin scattering method
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium 
      2013年07月21日
    163. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      Orientation control of ZnO films by highly-energetic positive ion irradiation using RF substrate bias sputtering 
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
      2013年07月21日
    164. Y. Kato, T. Yanagitani, K. Imamura, S. Takayanagi, M. Matsukawa
      Multiple roundtrip SH-SAW liquid sensor using c-axis parallel oriented ZnO films on silica glass pipe
      IEEE 2013 Joint UFFC, EFTF and PFM Symposium
      2013年07月21日
    165. H. Tsuneda, M. Okino, K. Mizuno, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
      Electrical potentials in wet induced by ultrasound irradiation
      European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 2013 
      2013年05月00日
    166. Masashi Suzuki, Yanagitani Takahiko, Hiroyuki Odagawa
      Polarization control of c-axis normal ScAlN film by ion beam irradiation
      International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications 
      167. 2013年01月28日 

      【2012年発表】

    167. Ryo Ikoma, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Hiroyuki Odagawa,Mami Matsukawa
      Polarization control of the c-axis oriented ZnO films by ion bombardment during an RF magnetron sputtering
      IEEE International Ultrason. Symp
      2012年10月07日
    168. High electromechanical coupling of PMnN-PZT thin film resonator operating in the GHz range
      Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Kiyotaka Wasa
      IEEE International Ultrason. Symp
      2012年10月07日
    169. Takeshi Sugimoto, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
      Fast hypersonic velocity measurement by Brillouin scattering from induced phonons
      IEEE International Ultrason. Symp
      2012年10月07日
    170. Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Nobuhiro Suganuma
      Metal grain ingot sputtering method for ScAlN film fabrication and for searching alternative element of Sc
      IEEE International Ultrason. Symp
      2012年10月07日
    171. Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani,Hiroyuki Odagawa
      IEEE International Ultrason. Symp
      Polarization inverted (0001)/(000-1) ScAlN film resonators operating in second overtone mode 
      2012年10月07日
    172. Yoshiya Kato, Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa, Mamoru Sawasaki,Takayuki Kawamoto, Yoshikazu Mori,Shinji Takayanagi, Syo Sasaki, Masatoshi Oba, Yoshiaki Watanabe
      Micro liquid viscometer by thickness-shear mode resonator with c-axis parallel oriented ZnO film
      IEEE International Ultrason. Symp
      2012年10月07日
    173. Masahiro Okino, Katsunori Mizuno, Shinji Takayanagi, Daisuke Suga, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
      IEEE International Ultrason. Symp
      Bone ultrasound transducer in the MHz range 
      2012年10月07日
    174. Shinji Takayanagi, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
      Fabrication of c-axis parallel oriented AlN and ScAlN films by RF bias sputtering
      IEEE International Ultrason. Symp
      2012年10月07日

      175. 【2011年発表】

    175. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      Quantitative analysis of the effect of energetic particle bombardment during deposition on (11-20) ZnO piezoelectric films
      IEEE International Ultrason. Symp
      2011年10月18日
    176. M. Suzuki, and T. Yanagitani
      Polarizaion-inverted multilayered pure shear mode AlN film resonator
      IEEE International Ultrason. Symp
      2011年10月18日
    177. M. Suzuki, and T. Yanagitani 
      c-axis parallel oriented AlN film resonator fabricated by ion-beam assisted RF magnetron sputtering
      IEEE International Ultrason. Symp
      2011年10月18日
    178. T. Sugimoto, H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa
      Brillouin scattering from induced phonons excited by the ZnO piezoelectric thin film with a coaxial resonator
      IEEE International Ultrason. Symp
      2011年10月18日
    179. K. Imamura, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      High temperature piezoelectricity in Mn doped ZnO film
      IEEE International Ultrason. Symp
      2011年10月18日
    180. Y. Nakahigashi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      c-axis parallel oriented ZnO film SH-SAW sensor for electrical conductivity measurement in liquid
      IEEE International Ultrason. Symp
      2011年10月18日

      181. 【2010年発表】

    181. T. Yanagitani, K. Arakawa, M. Suzuki, K. Kano, T. Akihiko, A. Morito,
      Giant shear mode electromechanical coupling coefficient k15 in c-axis tilted ScAlN films
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2010年10月11日
    182. T. Nakatsuji, K. Yamamoto, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki
      Highest wave velocity direction in the bovine cortical bone: observation of a small tilt relative to the bone axis
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2010年10月11日
    183. K. Arakawa, T. Yanagitani, K. Kano, A. Teshigahara, M. Akiyama
      Deposition techniques of c-axis-tilted ScAlN films by conventional RF magnetron sputtering
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2010年10月11日
    184. M Suzuki, and T. Yanagitani
      Influence of shadowing effect on shear mode acoustic properties in the c-axis tilted AlN films
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2010年10月11日
    185. K. Yamamoto, T. Nakatsuji, Y. Yamato, T. Yanagitani, K. Yamazaki, M. Matsukawa, Y. Matsuyama
      Effects of HAp alignment and microstructure on the anisotropy of longitudinal wave velocity in bovine cortical bone
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2010年10月11日
    186. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      A simple technique for obtaining (11-20) or (10-10) textured ZnO films by RF bias sputtering
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2010年10月11日
    187. K. Yamamoto, T. Nakatsuji, M. Indo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki
      Anisotropy of longitudinal wave velocity in spherically shaped bovine cortical bone
      The third international conference on the development of Biomedical Engineering 
      2010年01月00日 

      188. 【2009年発表】

    188. Kazufumi YAMAMOTO, Tomohiro NAKATSUJI, Yuichiro YAOI, Yu YAMATO, Takahiko YANAGITANI, Mami MATSUKAWA, and Kaoru YAMAZAKI
      Relationships between anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
      3rd European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone
      2009年09月18日
    189. N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Multilayered shear wave resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2009年09月00日
    190. N. Morisato, S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Measurement of electric properties in a ZnO single crystal via electromechanical coupling using Brillouin scattering method
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2009年09月00日
    191. Yaoi Y., Yamamoto K., Yanagitani T., Koizumi T., Matsukawa M., Yamazaki K., Nagano A.
      Anisotropy of longitudinal wave velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
      International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009
      2009年01月11日
    192. Yamamoto K., Yaoi Y., Grondin J., Grimal Q., Yamato Y., Yanagitani T., Matsukawa M., Laugier P., Yamazaki K., Nagano A.
      Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of human and bovine cortical bone
      International Congress on Ultrasonics (ICU) 2009 
      2009年01月11日 

      193. 【2008年以前発表】

    193. T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2008年11月00日
    194. T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2008年11月00日
    195. T. Yanagitani, M. Kiuch, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Pure-shear mode BAW resonators consisting of (11-20) textured ZnO films
      Acoustics 08
      2008年07月03日
    196. T. Yoshida, S. Murata, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
      Acoustic 08
      2008年07月01日
    197. K. Yamamoto, Y. Yaoi, Y. Yamato, T. Yanagitani, T. Koizumi, M. Matsukawa, K. Yamazaki, A. Nagano
      Ultrasonic wave properties in the bone axis direction of bovine cortical bone
      Acoustic 08
      2008年07月01日
    198. T. Yanagitani, Y. Yoshida,and M. Matsukawa
      Electromechanical coupling coefficient of semiconducting hexagonal crystal measured by Brillouin scattering
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2008年04月01日
    199. T. Yanagitani and M. Kiuchi
      Pure-shear mode BAW resonator consisting of (10-10) and (11-20) textured AlN films
      IEEE International Ultrasonics Symposium
      2008年04月01日 
    200. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      Propagation characteristics of SH-SAW in (11 0) ZnO layer/silica glass substrate structures
      IEEE Ultrason. Symp
      2007年04月01日
    201. T. Yanagitani, T. Matsuo, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      Thin film stack transducer for simultaneous generation of longitudinal and shear waves at same frequency
      IEEE Ultrason. Symp
      2007年04月01日
    202. T. Yanagitani, M. Kiuchi
      Ion beam sputter-deposited ZnO thin film for broadband shear wave excitation in the GHz range
      IEEE Ultrason. Symp
      2007年04月01日
    203. T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      Highly oriented c-axis 23° tilted ZnO films with high quasi-shear mode electromechanical coupling coefficients
      IEEE Ultrason. Symp
      2007年04月01日
    204. Y. Yamato, M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, K. Yamamoto, K. Yamazaki, A. Nagano
      Effect of the preference of hydroxyapatite crystallites on longitudinal wave velocity at small ROIs in bovine cortical bone
      International congress on Ultrasonics 
      2007年04月00日 
    205. M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano
      Elastic anisotropy and crystallites orientation of the bovine cortical bone
      17th International Bone Densitometry Workshop 
      2006年11月00日
    206. Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      The effect of hydroxyapatite crystallite orientation on ultrasonic velocity in bovine cortical bone
      4th Joint Meeting Acoustical Society of America and Acoustical Society of Japan 
      2006年11月00日
    207. Y. Yamato, H. Mizukawa, T. Yanagitani, M. Matsukawa, K. Yamazaki and A. Nagano
      Elastic Anisotropy and Crystallites Orientation in Bovine Cortical Bone
      IEEE Ultrason. Symp 
      2006年10月06日
    208. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Electromechanical Coupling Coefficient k15 and Crystallites Alignment of (11 0) Textured 
      IEEE Ultrason. Symp
      2006年10月04日
    209. T. Yanagitani, M. Kiuchi, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Temperature Characteristics of Pure Shear Mode FBARs Consisted of (11 0) Textured 
      IEEE Ultrason. Symp
      2006年10月04日
    210. K. Kawamoto, M. Matsukawa, Y. Watanabe and T. Yanagitani
      Study on Formation Mechanism of (11-20) Textured ZnO Films
      IEEE Ultrason. Symp 
      2006年10月04日
    211. M. Matsukawa, H. Mizukawa, T. Yanagitani, Y. Yamato, K. Yamazaki, A. Nagano
      Effect of the crystallites orientation on the elastic anisotropy in the bovine cortical bone
      The 9th Western Pacific Acoustics Conference
      2006年06月00日
    212. Y. Yamato, M. Matsukawa, T. Yanagitani, T. Otani, K. Yamazaki, A. Nagano
      The relationship between acoustic anisotropy and crystal orientation in bovine cortical bone
      1st European Symposium on Ultrasonic Characterization of Bone 
      2006年03月00日 
    213. T. Yanagitani , N. Mishima, M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Electromechanical coupling coefficient k15 of (11 0) textured ZnO films
      IEEE Ultrason. Symp
      2005年09月20日
    214. Y. Miyamoto, T. Yanagitani , M. Matsukawa and Y. Watanabe
      Higher-order shear mode FBAR using polarization-inverted layers of (11 0) textured 
      IEEE Ultrason. Symp
      2005年09月20日 
    215. T. Yanagitani, T. Nohara, M, Matsukawa and T, Otani
      Shear Wave Transducer Using (11-20) Textured ZnO Film
      IEEE Ultrason. Symp
      2004年08月27日
    216. K. Shintani, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe and T. Otani
      Nondestructive evaluation of thin ZnO shear transducer by Brillouin scattering
      IEEE Ultrason. Symp
      2004年08月25日

    主な国内学会発表（380件以上)

      【2023年発表】

    1. 渡海智、柳谷隆彦
      「エピ音響ブラッグ反射器およびエピScAlN, MgZnO圧電薄膜から成るSMR」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    2. 関崚、清水祐樹、柳谷隆彦
      「基板付き圧電薄膜構造の kt2評価における電極面積依存性の実験データとFEM解析データの比較」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    3. 島野耀康、矢田部浩平、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子における共振反共振法用いた電極を含む電気機械結合係数keff2の直接評価」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    4. 馮子泰、李嵩、柳谷隆彦
      「YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜を用いたBAW共振子の特性」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    5. 白岩和剛、柳谷隆彦
      「30 層分極反転共振子による圧電層と基板の音響分離」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    6. 小林栞、岸大貴、柳谷隆彦
      「オフ角サファイア単結晶基板上 c 軸傾斜MgZnO, ScAlN,エピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    7. 中村華英、工藤慎也、柳谷隆彦
      「Li0.65Nb0.3Ta0.05O3 スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    8. 國信聡太、柳谷隆彦
      「オフ角基板を用いたc軸傾斜エピPbTiO 3 薄膜の擬似横波励振特性」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    9. 内田拓希、工藤慎也、柳谷隆彦
      「(10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    10. 賈 軍軍、岸大貴、柳谷隆彦
      「MgZnO複合酸化物薄膜の電気機械結合特性」
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    11. 鈴木基嗣、石井直輝、近藤圭太、柳谷隆彦
      「GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波機械的通過損失の測定」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    12. 関崚、清水祐樹、近藤圭太、柳谷隆彦
      「GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の横波機械的通過損失の測定」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    13. 島野耀康、矢田部浩平、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子において通常の共振反共振法を用いる新しい kt2 評価法の提案」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    14. 渡海智、柳谷隆彦
      「エピタキシャル金属薄膜から成る音響ブラッグ反射器を用いたフルエピタキシャル SMR の作製」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    15. 白岩和剛、柳谷隆彦
      「圧電層と基板の音響分離を目指した 30 層分極反転共振子案」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    16. 岸大貴、柳谷隆彦
      「オフ角サファイア基板を用いた ScAlN および MgZnO 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長と横波圧電特性」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    17. 工藤慎也、柳谷隆彦
      「オフ角 Al2O3 基板を用いた LiNbO3 薄膜の c 軸傾斜エピタキシャル成長」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023
    18. 國信聡太、柳谷隆彦
      「オフ角 La-SrTiO3 基板を用いた c 軸傾斜エピ PbTiO3 薄膜の高い横波圧電性」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2023

      19. 【2022年発表】

    19. 清水祐樹、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子を用いたScAlN、ZnO、PZT圧電薄膜層のQ値抽出」
      電子情報通信学会超音波研究会
    20. 関崚、清水祐樹、近藤圭太、柳谷隆彦
      「基板付き圧電薄膜の kt2評価における電極面積の影響」
      電子情報通信学会超音波研究会
    21. 岸大貴、柳谷隆彦
      「c軸20°傾斜配向MgZnOエピタキシャル薄膜の擬似横波励振特性」
      電子情報通信学会超音波研究会
    22. 工藤慎也、柳谷隆彦
      「LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯励振特性」
      電子情報通信学会超音波研究会
    23. 近藤圭太、石井直輝、鈴木基嗣、柳谷隆彦
      「SiO2遅延層を用いたGHz帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定」
      電子情報通信学会超音波研究会
    24. 李嵩、賈軍軍、柳谷隆彦
      「YbGaNおよびYbAlNエピタキシャル薄膜共振子の特性」
      電子情報通信学会超音波研究会
    25. 石井直輝、柳谷隆彦
      「kt2 hysteresis curve of ferroelectric ScAlN thin film」
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    26. 工藤慎也、柳谷隆彦
      「Thickness shear mode BAW resonator based on epitaxial (10-12) LiNbO3 (11-20) AZO/(10-12) Al2O3」
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    27. 岸大貴、柳谷隆彦
      「Quasi-shear mode excitation of c-axis tilted MgZnO epitaxial thin film」
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    28. 鈴木基嗣、石井直輝、近藤圭太、柳谷隆彦
      「Extraction of mechanical reflectance of acoustic Bragg reflector by GHz pulse echo technique」
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    29. 清水祐樹、柳谷隆彦
      「Mechanical Q factor dependence on Zr/Ti ratio of sputter-grown PZT epitaxial thin films」
      The 43rd Symposium on UltraSonic Electronics (USE2022)
    30. 國信聡太、清水祐樹、柳谷隆彦
      「PZTエピタキシャル薄膜のZr/Ti比における機械的品質Qmの依存性」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    31. 石井直輝、小林栞、柳谷隆彦
      「ウルツ鉱型強誘電体薄膜におけるGHz帯kt2-Eヒステリシス特性」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    32. 関崚、清水祐樹、柳谷隆彦
      「基板付きの圧電薄膜と自立構造の圧電薄膜に対する 各種 kt2値評価法の比較」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    33. 内田拓希、清水祐樹、鈴木基嗣、高柳真司、柳谷隆彦
      「20%を超える高いkt2値のc軸配向Sc0.4Al0.6N薄膜および高いk’352値のc軸傾斜配向Sc0.4Al0.6N薄膜」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    34. 柴田真之、柳谷隆彦
      「耐電力性向上を目的とした分極反転ScAlN薄膜ブラッグ反射共振子」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    35. 岸大貴、柳谷隆彦
      「c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜の成長と擬似横波励振特性」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    36. 工藤慎也、柳谷隆彦
      「(10-12)LiNbO3スパッタエピ薄膜のGHz帯擬似横波励振特性」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    37. 島野耀康、高柳真司、柳谷隆彦
      「分極反転多層デバイスに向けた極性制御MgZnO圧電薄膜の作製」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    38. 浴田航平、大森拳、工藤慎也、柳谷隆彦
      「(100)AgNbO3エピタキシャル薄膜/(100)STO基板のGHz帯超音波励振特性」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    39. 鈴木基嗣、石井直輝、近藤圭太、柳谷隆彦
      「GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の機械特性評価」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    40. 清水祐樹、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜構造からの圧電薄膜のQ値抽出における横方向伝搬の影響」
      第83回応用物理学会秋季学術講演会
    41. 島野耀康、岸大貴、工藤慎也、柳谷隆彦
      「c軸傾斜MgZnO薄膜における擬似横波励振特性」
      日本音響学会第148回
    42. 岸大貴、柳谷隆彦
      「c軸10°傾斜配向ZnOエピタキシャル薄膜における擬似横波励振特性」
      日本音響学会第148回
    43. 工藤慎也、柳谷隆彦
      「(10-12)LiNbO3エピタキシャル薄膜/(10-12)Al2O3基板のGHz帯向け擬似横波励振特性」
      日本音響学会第148回
    44. 工藤慎也、柳谷隆彦
      「LiNbO3 エピタキシャル薄膜の共振特性」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    45. 岸大貴、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向MgZnO薄膜の作製」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    46. 茂木彩音、中村華英、山下美穂、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射法による生体物質の相互作用の検出」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    47. 國信聡太、岩田直也、柳谷隆彦
      「PbTiO3 薄膜共振子の基板除去前後における kt2 ヒステリシスカーブの比較」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    48. 小林栞、清水祐樹、柳谷隆彦
      「高Q基板を用いた圧電薄膜/基板構造からの圧電薄膜層のQ値抽出」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    49. 小池由奈、佐藤裕友、松村理司、柳谷隆彦
      「PbTiO3 アレイトランスデューサの基板裏面での反射率測定によるGHz帯超音波イメージング」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    50. 柴田真之、柳谷隆彦
      「c軸ジグザグ分極反転ScAlN薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    51. 渡海智、浴田航平、柳谷隆彦
      「音響ブラッグ反射器上へのエピ圧電層の形成」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    52. 李嵩、岩田直也、柳谷隆彦
      「スパッタ法による透明 ScAlN 薄板の成長」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    53. 鈴木基嗣、石井直輝、近藤圭太、柳谷隆彦
      「超音波顕微鏡による音響ブラッグ反射層の機械的通過損失の測定」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    54. 白岩和剛、佐藤裕友、関崚、柳谷隆彦
      「c軸傾斜反転ScAlN薄膜を用いたブラッグ反射器型圧電トランス」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    55. 石井直輝、岩田直也、島野耀康、柳谷隆彦
      「外部電場によるScAlN薄膜の分極反転と圧電特性」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    56. 賈軍軍、岩田直也、柳谷隆彦
      「III-V族窒化物圧電薄膜へのYb添加効果」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    57. 冨永 卓海、高柳 真司、柳谷隆彦
      「c軸ジグザグ配向ScAlN薄膜/Si基板構造におけるSAW伝搬特性」
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    58. 泉航太、柳谷隆彦
      「分極反転 ScAlN 薄膜を用いたBAW送受波型トランスバーサルフィルタ」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    59. 柴田真之、佐藤裕友、柳谷隆彦
      「耐電力性向上に向けた高次モード分極反転ScAlN薄膜の作製およびサブ W 耐電力性の評価」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    60. 渡海智、柳谷隆彦
      「エピ犠牲層を用いた音響ブラッグ反射器上へのエピ圧電層の形成」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    61. 岩田直也、柳谷隆彦
      「スパッタによる透明 ScAlN 薄板の成長と10 MHz帯トランスデューサへの応用」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    62. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「PbTiO3 エピ薄膜の基板裏面反射率測定を用いたGHz帯音響イメージングの高分解能化」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    63. 白岩和剛、佐藤裕友、柳谷隆彦
      「厚みすべりモード c 軸ジグザグ ScAlN 積層を用いたブラッグ反射器型圧電トランス」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    64. 清水祐樹、小林栞、柳谷隆彦
      「高 Q 基板を用いた基板付き薄膜共振子からの圧電薄膜層のQ 値抽出」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    65. 石井直輝、岩田直也、柳谷隆彦
      「外部電場により分極反転処理した強誘電性 ScAlN 薄膜共振子」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    66. 李嵩、柳谷隆彦
      「(0001)YbAlN／(0001)Ti／(0001)Al2 O3 エピタキシャル薄膜共振子」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    67. 近藤圭太、石井直輝、柳谷隆彦
      「GHz 帯パルスエコー法による音響ブラッグ反射層単体の機械的通過特性の評価」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2022
    68. 泉航太、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較」
      電子情報通信学会超音波研究会

      69. 【2021年発表】

    69. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「PbTiO3エピ圧電薄膜を用いた基板裏面におけるGHz超音波の指紋イメージング」
      電子情報通信学会超音波研究会
    70. 岩田直也、柳谷隆彦
      「ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響」
      電子情報通信学会超音波研究会
    71. 関崚、柳谷隆彦
      「5GHz 帯に向けた自立構造 ScAlN エピタキシャル薄膜共振子」
      第５０回ＥＭシンポジウム
    72. 國信聡太、岩田直也、柳谷隆彦
      「自立構造 PbTiO3薄膜共振子における kt2ヒステリシスカーブの測定」
      第５０回ＥＭシンポジウム
    73. 白岩和剛、柳谷隆彦
      「ブラッグ反射器を用いた厚みすべりモード c 軸ジグザグ ScAlN 積層型圧電トランス」
      第５０回ＥＭシンポジウム
    74. 冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
      「ジグザク配向 ScAlN 薄膜/Si 基板構造におけるレイリー波の伝搬特性解析」
      第５０回ＥＭシンポジウム
    75. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「GHz 帯 PbTiO3 エピ薄膜を用いた基板裏面での反射率測定によるイメージング」
      The 42th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2021)
    76. 冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
      「SAW デバイスへの応用に向けて Si 基板上に成長させた c 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜」
      The 42th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2021)
    77. 泉航太、柳谷隆彦
      「MgおよびCaドーピングによるZnO薄膜のUHF帯電気機械結合係数kt2の向上」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    78. 佐藤裕友、石井 直輝、柳谷 隆彦
      「PbTiO3エピタキシャル薄膜の基板裏面における反射率測定を用いたGHz帯指紋イメージング」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    79. 工藤 慎也、天野 凌輔、柳谷 隆彦
      「イオン照射を用いたScAlN薄膜の極性制御」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    80. 山下美穂、木下紗里那、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN薄膜の横波反射率測定による液体の粘性評価」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    81. 渡海智、國信 総太、柳谷 隆彦
      「エピタキシャルPbTiO3 自立薄膜共振子のGHz 帯圧電特性」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    82. 山中 恵理、近藤 圭太、龍見 亮汰、柳谷 隆彦
      「基板付き圧電薄膜構造におけるkt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    83. 岸大貴、木下紗里那、泉航太、柳谷隆彦
      「誘電率の異なる材料を組み合わせた圧電薄膜トランスの作製」
      第68回応用物理学会春季学術講演会
    84. 白寧蕊、柳谷隆彦
      「厚膜成長と粉体化により応力を緩和したScAlNにおける結晶構造のSc濃度依存性」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    85. 五月女巧、柳谷隆彦
      「AlNとScAlN薄膜共振子の非線形性に起因する周波数シフトとDCバイアス時の格子ひずみの比較」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    86. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「GHz帯PbTiO3エピ薄膜の基板裏面における反射率差を用いた指紋イメージング」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    87. 清水祐樹、木下紗里那、岩田直也、柳谷隆彦
      「基板付きAlN、ScAlN、ZnO薄膜共振子の機械的Qm値の抽出」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    88. 近藤圭太、龍見亮汰、柳谷隆彦
      「基板付き圧電薄膜構造における変換損失kt2評価法に寄生インダクタンスが与える影響」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    89. 國信聡太、岩田直也、柳谷隆彦
      「自立薄膜共振子の作製を目指したPbTiO3エピタキシャル薄膜のMgO下地エッチング」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    90. 冨永卓海、高柳真司、柳谷隆彦
      「低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射と ScAlN 薄膜の結晶性および圧電性の劣化」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    91. 若林拓也、高柳真司、柳谷隆彦
      「E-3 円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管への成膜」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021
    92. 富永浩平、高柳真司、柳谷隆彦
      「基板へのイオン照射を抑制したスパッタ法によるZnO 薄膜形成と結晶性および圧電性への影響」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2021

      93. 【2020年発表】

    93. 冨永卓海、髙柳真司、、柳谷隆彦
      「低圧スパッタ成膜において増大する負イオン照射が ScAlN 薄膜の圧電性に及ぼす影響」
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    94. 富永浩平、髙柳真司、柳谷隆彦
      「スパッタ成膜中に基板へ照射されるイオンの抑制をした ZnO 薄膜の形成と圧電性への影響」
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    95. 若林拓也、髙柳真司、柳谷隆彦
      「円管構造 SH-SAW センサに向けた c 軸平行配向 ZnO 薄膜の石英ガラス管回転成膜」
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    96. 龍見亮汰、柳谷隆彦
      「ウェハー状態の圧電薄膜共振子の基板内音響損失を除いた変換損 kt2 導出法」
      The 41th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2020)
    97. 泉航太、柳谷隆彦
      「ZnO薄膜のMgおよびCaドーピングによるUHF帯電気機械結合係数kt2の向上」
      第４９回ＥＭシンポジウム
    98. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「GHz帯PZT系エピ薄膜トランスデューサを用いた指紋イメージング」
      第４９回ＥＭシンポジウム
    99. 岸大貴、泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子に向けたScAlN/SiO2積層型圧電薄膜トランス」
      第４９回ＥＭシンポジウム
    100. 木下紗里那、柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜トランス」
      電子情報通信学会超音波研究会
    101. 木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
      「ScAlスパッタターゲットから生じる負イオンがScAlN圧電薄膜の結晶配向性や電気機械結合係数に及ぼす影響」
      電子情報通信学会超音波研究会
    102. 龍見亮汰、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較」
      電子情報通信学会超音波研究会
    103. 五月女巧、柳谷隆彦
      「AlNとScAlNにおける非線形性に起因するDCバイアス時の周波数シフトおよび格子ひずみの比較」
      電子情報通信学会超音波研究会
    104. 冨永卓海、髙柳真司、柳谷隆彦
      「低圧スパッタ成膜で増大する負イオン照射がScAlN薄膜の結晶性と圧電性に及ぼす影響」
      電子情報通信学会超音波研究会
    105. 泉航太、木下紗里那、柳谷隆彦
      「傾斜反転ScAlN圧電薄膜を用いた積層型トランス」
      第37回強誘電体会議
    106. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「スパッタ法によるPZT系膜を用いた高効率超音波トランスデューサ」
      第37回強誘電体会議
    107. 岩田直也、木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
      「負イオン発生抑制を目指したSc粒埋め込みAl金属ターゲットによる高配向ScAlN薄膜の成長と評価」
      第37回強誘電体会議
    108. 松田友佳、柳谷隆彦
      「PZT系エピタキシャル薄膜共振子の600°C以上の高温域における圧電特性」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    109. 正宗千明、柳谷隆彦
      「イオンビームにより面内a軸方向を揃えたc軸配向AlN薄膜の成長」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    110. 間島毅、柳谷隆彦
      「圧電トランス応用に向けたc軸配向極性反転ZnO薄膜共振子の作製」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    111. 平澤直人、木下紗里那、柳谷隆彦
      「レクテナ用の昇圧回路応用を目指した積層型圧電トランスのモデル化と試作」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    112. 紀本佳苗、高柳真司、柳谷隆彦
      「熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    113. 冨永卓海、高柳 真司、柳谷隆彦
      「低圧スパッタによる負イオン照射の増大とScAlN薄膜の圧電性の劣化」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    114. 賈軍軍、柳谷隆彦
      「第一原理計算によるYbAlNの圧電特性の解明」
      第67回応用物理学会 春季学術講演会
    115. 間島毅、柳谷隆彦
      「c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転共振子の圧電トランス応用」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020
    116. 龍見亮汰、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子の電磁結合信号もしくは音響信号を用いた変換損kt2評価法の比較」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2020

      117. 【2019年発表】

    117. 松田友佳、柳谷隆彦
      「自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の高い電気機械結合係数と温度特性」
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    118. 正宗千明 、柳谷隆彦
      「イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向の揃った c 軸配向 ScAlN 薄膜の成長」
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    119. 高柳真司、木原流唯、柳谷隆彦
      「スパッタターゲットから飛来する高速負イオンの照射抑制による ScAlN 薄膜の圧電性向上」
      The 40th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2019)
    120. 間島毅、柳谷隆彦
      「c軸配向ZnO薄膜成長におけるZn面またはO面極性制御および分極反転多層圧電デバイスへの応用」
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    121. 白寧蕊、柳谷隆彦
      「巨大圧電性ScAlN厚膜の成長および粉体化による結晶構造解析」
      粉体粉末冶金協会2019年度秋季大会
    122. 柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧回路への応用を目指したc軸ジグザグ傾斜ScAlN圧電薄膜トランス」
      弾性波素子技術第150委員会第158回委員会
    123. 富永浩平、高柳真司、柳谷隆彦
      「スパッタ成膜中の負イオン照射測定に基づいた高圧電性ScAlN薄膜の形成」
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    124. 天野凌輔、柳谷隆彦
      「CVDグラフェン上のRFスパッタc軸配向ScAlN薄膜の圧電特性」
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    125. 松田友佳、柳谷隆彦
      「自立構造のスパッタエピタキシャルPbTiO3薄片の共振特性と温度特性」
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    126. 木原 流唯、柳谷隆彦
      「YbAlN圧電薄膜のUHF帯における電気機械結合係数kt2の増幅」
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    127. 木下紗里那、柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子に向けた傾斜反転ScAlN圧電薄膜HBAR型トランス」
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    128. 天野凌輔、柳谷隆彦
      「Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上」
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    129. 木下紗里那、柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子を目指したジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス」
      「基板付き薄膜構造を用いた圧電薄膜の機械的品質Qm値の推定法」
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    130. 佐藤裕友、柳谷隆彦
      「スパッタ法によるScAlN厚膜を用いたVHF帯高効率超音波トランスデューサ」
      2019年 電気学会 電子・情報・システム部門大会
    131. 柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN圧電薄膜トランス」
      同志社大学　超音波応用科学研究センター7月例会
    132. 白寧蕊、木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
      「Sc 粒埋め込みスパッタターゲットによる成膜中負イオン照射抑制と ScAlN 薄膜結晶性向上」
      第４８回EMシンポジウム
    133. 正宗千明、柳谷隆彦
      「イオンビームアシストスパッタ法による a 軸方向が揃った c 軸配向 AlN 薄膜の成長」
      第４８回EMシンポジウム
    134. 松田友佳、柳谷隆彦
      「自立構造エピタキシャル PbTiO3薄片の共振特性と温度特性」
      第４８回EMシンポジウム
    135. 柳谷隆彦
      「イオンビーム成膜を用いた結晶配向制御と極性反転デバイス応用」
      弾性波素子技術第150委員会第156回委員会
    136. 龍見亮汰、戸塚誠、柳谷隆彦
      「共振周波数比法を用いた基板付き薄膜共振子の電極付きkeff2の抽出」
      電子情報通信学会総合大会
    137. 木原流唯、高柳真司、柳谷隆彦
      「Al金属ターゲットへのSc埋め込みの有無によるScAlN薄膜音響共振子の結晶化度の違いと圧電特性」
      電子情報通信学会総合大会
    138. 正宗千明、唐澤 嶺、柳谷隆彦
      「ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子」
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    139. 白寧蕊、唐澤嶺、高柳 真司、今川 誠、森坂啓介、鈴木 雄、柳谷隆彦
      「溶融および焼結ScAl合金ターゲットを用いた高品質なScAlN薄膜の作製」
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    140. 野田 隆太、清水 貴博、和佐 清孝、柳谷隆彦
      「RFスパッタ法により作製したPZT系エピタキシャル薄膜のMPB特性」
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    141. 篁 佑太、高柳 真司、柳谷隆彦、松川 真美
      「SH型SAWパイプセンサの作製に向けた石英ガラス管へのc軸平行配向ZnO膜の形成」
      第66回応用物理学会 春季学術講演会
    142. 和佐清孝、清水貴博、足立秀明、吉田慎哉、柳谷隆彦、田中秀治
      「圧電薄膜デバイスと基板の選択」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2019
    143. 高柳真司、柳谷隆彦
      「スパッタ成膜中の負イオン照射抑制によるScAlN薄膜の圧電性向上」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2019
    144. 天野凌輔、木下紗里那、廣芝伸哉、柳谷隆彦
      「ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2019
    145. 山中恵理、戸塚誠、木下紗里那、柳谷隆彦
      「基板付き圧電薄膜の電気機械結合係数抽出時における電極サイズの影響」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2019
    146. 戸塚誠、柳谷隆彦
      「基板付き圧電薄膜の高次モード間共振周波数比を用いたFBARの電極考慮keff2抽出」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2019

      147. 【2018年発表】

    147. 間島　毅、清水貴博、柳谷隆彦
      「極性反転ZnO圧電多層構造を用いた高効率な超音波トランスデューサ」
      電子回路研究会
    148. 五月女巧、山川愉生、唐澤 嶺、柳谷隆彦
      「横波モードのc 軸傾斜配向 ScAlN 薄膜 / 音響多層膜反射器共振子を用いた UHF帯液体粘性評価」
      電子回路研究会
    149. 野田隆太、清水貴博、柳谷隆彦
      「常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子の周波数スイッチング特性」
      電子回路研究会
    150. M. Totsuka and T. Yanagitani, “A new electromechanical coupling coefficient extraction method of as-grown film/wafer structure by using the ratio of overtone mode resonant frequencies,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    151. Y. Endo, R. Karasawa, S. Takayanagi , M. Imakawa , K. Morisaka , Y. Suzuki, and T. Yanagitani, “Negative ions generation of the arc-melted and hot press sintered ScAl alloy targets in ScAlN film growth,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    152. N. Bai, C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “Large electromechanical coupling (kt 2 =22%) in the ScAlN thin films,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    153. T. Shimidzu, T. Mori, and T. Yanagitani, “Polarity inverted PZT/PbTiO3 epitaxial stack resonators for frequency switchable filters,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    154. C. Masamune, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “ScAlN free?standing piezoelectric plates in the range of 30?40 MHz resonance frequency,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    155. Y. Mazda, T. Shimidzu, and T. Yanagitani, “Thick PZT epitaxial film for ultrasonic transducer in the 80 MHz range,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    156. H. Yazaki, T. Soutome, R. Karasawa, S. Takayanagi, K. Yoshida, and T. Yanagitani, “c-Axis tilted ScAlN film shear mode resonators for detection of biomolecular interactions,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    157. Y. Yamakawa, T. Soutome, R. Karasawa, and T. Yanagitani, “Evaluation of fluid viscosity in the vicinity of 400 MHz using quasi-shear mode c-axis tilted ScAlN thin film resonators,”
      The 39th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE 2018)
    158. 唐澤嶺、高柳真司、遠藤結佳、今川　誠、森坂啓介、鈴木　雄、柳谷隆彦
      「製法の異なるScAl合金スパッタターゲットから発生する負イオンがScAlN薄膜の特性に及ぼす影響 ～ 電子ビーム溶融、アーク溶融、焼結ScAl合金ターゲットの比較 ～」
      電子情報通信学会超音波研究会
    159. 清水貴博、森剛志、柳谷隆彦
      「分極反転PZT/PTOエピ膜を用いた周波数スイッチナブルなGHz帯共振子」
      電子情報通信学会超音波研究会
    160. 戸塚誠、柳谷隆彦
      「基板付き薄膜共振子からの新規kt2評価法と従来法の比較 ～ 共振周波数比法、変換損失法、共振スペクトル法、共振反共振法 ～」
      電子情報通信学会超音波研究会
    161. 山川愉生、五月女巧、唐澤嶺、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いたUHF帯における液体粘性評価」
      電子情報通信学会超音波研究会
    162. 矢崎花、五月女巧、唐澤　嶺、高柳真司、吉田憲司、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向厚みすべりモードScAlN薄膜共振子を用いた液体中生体分子相互作用の検出」
      電子情報通信学会超音波研究会
    163. 柳谷隆彦
      「FBARフィルタ用の圧電薄膜材料の進展とウエハの評価手法」
      第168回電子セラミック・プロセス研究会
    164. 柳谷隆彦
      「最新の窒化物BAWフィルタの動向と酸化物圧電薄膜の位置づけ」
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    165. 清水貴博、柳谷隆彦
      「ScAlN, ZnOおよびPZT系薄膜の極性制御と分極反転デバイスへの応用」
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    166. 清水貴博、柳谷隆彦
      「抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO3分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子」
      第79回応用物理学会秋季学術講演会
    167. 柳谷隆彦
      「ウエハ付きAs-grown圧電薄膜のRFフィルタ向け特性評価法およびScAlN薄膜の成長ノウハウ」
      アルバックシンポジウム
    168. 間島毅、清水貴博、柳谷隆彦
      「(0001)ScAlN/(000-1)ZnO 極性反転構造を用いた 2 次モードトランスデューサの水中放射特性」
      第４７回EMシンポジウム
    169. 矢崎花、唐澤嶺、吉田憲司、高柳真司、柳谷隆彦
      「c 軸傾斜配向厚みすべりモード ScAlN 薄膜共振子を用いた生体高分子反応の検出」
      第４７回EMシンポジウム
    170. 野田隆太、清水貴博、和佐清孝、柳谷隆彦
      「Pb(Zrx,Ti1-x)O3スパッタエピ膜における MPB 特性発現の検証」
      第４７回EMシンポジウム
    171. 戸塚誠、柳谷隆彦
      「基本モード/3 次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜構造における圧電薄膜の kt抽出法と従来 法との比較」
      第４７回EMシンポジウム
    172. 木下紗里那、戸塚誠、唐澤嶺、柳谷隆彦
      「基板付き圧電薄膜の機械的品質係数 Q 値評価の検討」
      第４７回EMシンポジウム
    173. 唐澤嶺、遠藤結佳、高柳真司、今川誠、森坂啓介、鈴木雄、柳谷隆彦
      「溶融および焼結 ScAl 合金スパッタターゲットから発生する負イオンが ScAlN 薄膜の成長に及ぼす影響」
      第４７回EMシンポジウム
    174. 正宗千明、松田友佳、唐澤嶺、清水貴博、柳谷隆彦
      「PZT エピ厚膜および ScAlN 厚膜を用いた 30-90 MHz 帯トランスデューサ」
      第４７回EMシンポジウム
    175. 唐澤嶺、柳谷隆彦
      「レクテナ昇圧素子への応用を目指したc軸ジグザグ配向ScAlN多層圧電薄膜共振子」
      電子情報通信学会超音波研究会
    176. 清水貴博、柳谷隆彦
      「周波数スイッチナブルフィルタを目指した常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜音響共振子」
      電子情報通信学会超音波研究会
    177. 柳谷隆彦
      「最近のBAWデバイス(FBAR)の薄膜材料と評価手法」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    178. 唐澤嶺、柳谷 隆彦
      「低角スパッタ粒子入射を用いたc軸傾斜反転ジグザグScAlN圧電薄膜の成長とレクテナ昇圧素子への応用検討」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    179. 山川 愉生、柳谷 隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた横波超音波の斜入射による液体試料のVHF帯粘弾性評価」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    180. 山川 愉生、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた擬似すべりモード基板付き共振子による液体試料のMHz帯-GHz帯にわたる粘性評」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    181. 清水 貴博、柳谷 隆彦
      「ScAlN/ZnO極性反転構造を用いた高次モードトランスデューサの水中放射特性」
      「基本モード/高次モード切替可能な常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピ膜共振子」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    182. 間島毅、柳谷 隆彦
      「極性反転ZnO圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    183. 戸塚誠、柳谷隆彦
      「基本モードと3次モードの共振周波数比を用いた基板付き薄膜の電気機械結合係数kt2の評価法」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    184. 正宗 千明、佐野 耕平、柳谷 隆彦
      「90μmScAlN厚膜を用いた40MHz帯トランスデューサ」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    185. 松田友佳、清水貴博、柳谷隆彦
      「高い圧電性を持つPZT厚膜を用いた80 MHz帯高効率トランスデューサ」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    186. 遠藤 結佳、佐野 耕平、唐澤 嶺、柳谷 隆彦
      「電子ビーム真空溶融により合成したScAl合金スパッタターゲットを用いた高品質ScAlN薄膜の成長」
      第65回応用物理学会 春季学術講演会
    187. 柳谷隆彦
      「圧電トランス薄膜音響共振子による電波発電」
      第4回分科会ワークショップ「革新的エナジー・ハーベスティングに向けた材料・デバイス技術」
    188. 戸塚誠、柳谷隆彦
      「高次モード間共振周波数比を用いた基板付き薄膜共振子からの電気機械結合係数の抽出」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    189. 唐澤嶺、柳谷隆彦
      「c軸ジグザグ配向ScAlN圧電トランス薄膜共振子のレクテナ昇圧回路への応用検討」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    190. 山川愉生、唐澤嶺、柳谷隆彦
      「擬似すべりモードc軸傾斜配向ScAlN薄膜を用いた複素反射率測定による液体試料のUHF帯粘弾性評価」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    191. 清水貴博、柳谷隆彦
      「周波数スイッチナブルな常誘電相PMN-PT/強誘電相PZT分極反転エピタキシャル薄膜共振子」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    192. 間島毅、清水貴博、柳谷隆彦
      「極性反転ウルツ鉱系圧電薄膜を用いた高効率トランスデューサ」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    193. 野田隆太、清水貴博、和佐清孝、柳谷隆彦
      「スパッタ法により作製したGHz帯のPb(ZrxTi1-x)O3エピ膜にMPB特性は現れるか？」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    194. 和佐清孝、清水貴博、足立秀明、吉田慎哉、柳谷隆彦、田中秀治
      「PZT薄膜とバルク圧電材料」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    195. 岩永陸弥、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
      「厚みすべりモード薄膜共振子の液体負荷時における周波数変化及び減衰の検討」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    196. 高柳真司、柳谷隆彦
      「スパッタ成膜中にSc金属から発生した負イオンの照射によるScAlN薄膜の結晶配向性および圧電性の劣化」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018
    197. 徳田翔平、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
      「サファイア基板上への高角度c軸傾斜ScAlN膜の作製と弾性表面波伝搬特性」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2018

      198. 【2017年発表】

    198. 柳谷隆彦、唐澤嶺、佐野耕平
      EMデバイス・システムの新技術調査専門委員会
      「高品質ScAlN薄膜の成長条件と圧電特性および音響特性の評価」
    199. K-h. Sano, R. Karasawa, T. Yanagitani
      “High efficiency ScAlN thick film hydrophone operating in the ranges of 40-80 MHz”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    200. S. Takayanagi, T. Yanagitani
      “Effects of highly energetic negative ions generated from Sc grains during sputtering deposition on electromechanical properties of ScAlN film”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    201. T. Makino, K. Takano , S. Nakanishi , D. Koyama, S. Takayanagi , T. Yanagitani , M. Matsukawa
      “Induced electrical potentials in cortical bone under shear ultrasound exposure”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    202. R. Karasawa, T. Yanagitani
      “Polarity inverted ScAlN films for application to transformer in rectenna”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    203. S. Tokuda, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
      “c-Axis tilted ScAlN film on sapphire substrate for SAW devices with high electromechanical coupling”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    204. Y. Yamakawa, R. Karasawa, T. Shimidzu ,T. Yanagitani
      “Simultaneous viscosity evaluation in the MHz to GHz range with low TCF resonators consisting of shear mode piezoelectric thin films on AT-cut quartz crystal”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    205. Y. Shibagaki, M. Kawabe, S. Takayanagi, T. Yanagitani
      “Simple and rapid measurement of hypersonic wave velocity by Brillouin scattering method”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    206. K. Mori, S. Takayanagi, M. Matsukawa, T. Yanagitani
      “Film growth of c-axis parallel oriented ZnO films by RF magnetron sputtering for improvement of electromechanical properties”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    207. T. Shimidzu, K. Wasa , T. Yanagitani
      “PMN paraelectric phase epitaxial film for DC field-induced frequency switchable filter”
      The 38th Symposium on Ultrasonic Electronics
    208. 柳谷隆彦、唐澤嶺
      「分極反転圧電薄膜の成長と応用～レクテナ昇回路へ検討～」
      第４６回ＥＭシンポジウム
    209. 佐野耕平， 唐澤嶺， 柳谷隆彦
      「高電気機械結合係数を持つ80MHz 帯 ScAlN 厚膜のハイドロフォン応用への検討」
      第４６回ＥＭシンポジウム
    210. 山川愉生, 佐野耕平, 唐澤嶺, 柳谷隆彦
      「c 軸傾斜配向 ScAlN/AT カット水晶基板構造の低 TCF 横波 HBAR を用いた MHz 帯-GHz 帯粘性評価」
      第４６回ＥＭシンポジウム
    211. 清水貴博, 柳谷隆彦, 和佐清孝
      「チューナブルフィルタを目指した PMN 常誘電相エピ膜の電界誘起圧電特性と分極反転特性」
      第４６回ＥＭシンポジウム
    212. 森剛志、高柳真司。清水貴博、柳谷隆彦
      「単結晶PZT/PTエピタキシャル薄膜を用いた周波数切り替え可能な共振子」
      2017年電子情報通信学会総合大会
    213. 柴垣慶明，川部昌彦，柳谷隆彦，高柳真司，鈴木雅視，松川真美
      「ScAlN薄膜トランスデューサを用いた縦波・横波のブリュアン散乱光の同時増幅」
      日本音響学会2016年秋季研究発表会
    214. 松川沙弥果、牧野大輝、小山大介、高柳真司、水野勝紀、柳谷隆彦、松川真美
      「縦波・横波の超音波伝搬時における骨中誘発電位の検討」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    215. 佐野耕平、唐澤嶺、柳谷隆彦
      「電気機械結合係数 kt2=19%のScAlN厚膜を用いた低周波帯80 MHzトランスデューサ」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    216. 盛一馬、高柳真司、松川真美、柳谷隆彦
      「RFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ZnO膜の圧電不活性層低減に関する検討」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    217. 唐澤嶺、山川愉生、森剛志、矢﨑花、佐野耕平、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN膜/ブラック反射層構造のGHz帯厚みすべりモード共振子を用いた液体粘性評価」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    218. 山川愉生、佐野耕平、唐澤嶺、森剛志、柳谷隆彦
      「c軸傾斜配向ScAlN膜/ATカット水晶基板構造の低TCF横波共振子を用いた 広帯域周波数粘度測定」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017
    219. 清水貴博、森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝
      「抗電界差による基本モード/高次モード周波数切替可能なPZT/PTエピ膜分極反転共振子」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2017

      220. 【2016年発表】

    220. S. Takayanagi, T. Yanagitani
      "High electromechanical coupling of Sezawa mode SAW using a polarization-inverted ScAlN film/highvelocity substrate structure"
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
    221. S. Matsukawa, S.Mori, D. Koyama, S. Takayanagi, K. Mizuno, T. Yanagitani, M. Matsukawa
      "Evaluation of piezoelectricity in bone by ultrasound irradiation"
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
    222. S. Tomita, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa,
      "Piezoelectric stiffening in the thickness direction of c-plane ZnO single crystal measured by Brillouin scattering"
      The 37th Symposium on Ultrasonic Electronics (USE2016).
    223. 柴垣慶明, 川部昌彦, 柳谷隆彦, 高柳真司, 鈴木雅視, 松川真美
      「励起フォノンを用いたBrillouin散乱測定の高速化に関する検討」
      第58回光波センシング技術研究会
    224. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
      「GHz帯で純横波超音波を高効率励振するc軸平行ZnO薄膜トランスデューサ」
      電子情報通信学会　超音波研究会 (2016).
    225. 森剛志、鈴木雅視、柳谷隆彦
      「ScAlN/ZnO極性反転圧電薄膜を用いた2次モード励振超音波トランスデューサ」
      電子情報通信学会　超音波研究会 (2016).
    226. 森剛志、柳谷隆彦、和佐清孝
      「PZTと PT の抗電界差を利用した周波数スイッチナブル分極反転エピタキシャ薄膜共振子」
      第45回EMシンポジウム(2016).

      227. 【2015年発表】

    227. 寺田浩士朗、西川宏明、田中陽平、小田川裕之、柳谷隆彦、長康雄，
      「走査型非線形誘電率顕微法による極性反転層状構造圧電膜の層厚の定量測定」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no46, pp.23-26, (2015).
    228. 趙恩慧、川部昌彦、高柳真司、鈴木雅視、柳谷隆彦、松川真美
      「ScAlN圧電薄膜から励起されたコヒーレントフォノンのBrillouin散乱」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no46, pp.27-30, (2015).
    229. 柳谷隆彦、市橋隼人、鈴木雅視、高柳真司、松川真美，
      「共振法およびBrillouin散乱法で測定したScAlN薄膜の弾性定数テンソルのSc濃度依存性」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no07, pp.37-42, (2015).
    230. 岡峰生、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美，
      「イオンビームアシストRFマグネトロンスパッタ法を用いて作製したc軸平行配向ScAlN薄膜の電気機械結合係数」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no07, pp.31-35, (2015).
    231. 日山彰子、柳谷隆彦、高柳真司、松川真美、
      「c軸平行配向ZnO膜/円管石英構造におけるSH波の多重周回伝搬特性と導電率測定への応用」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no07, pp.19-24, (2015).
    232. 高柳真司、柳谷隆彦、Jean-Claude Gerbedoen，Abdelkrim Talbi，松川真美，Philippe Pernod，
      「低圧RFマグネトロンスパッタ法によるc軸平行配向ZnO膜の形成とSAW、Lamb波デバイスへの応用」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no07, pp.25-30, (2015).
    233. 富田昇太、柳谷隆彦、鈴木雅視、高柳真司、松川真美
      「Brillouin光散乱を用いたc軸配向薄膜の音速および常屈折率の同時測定」
      電子情報通信学会　超音波研究会vol. 115, no02, pp.23-28, (2015).
    234. 松川 沙弥果、森 駿貴、フォタネル エロディー、眞野 功、水野 勝紀、柳谷 隆彦、高柳 真司、松川 真美、
      「皮質骨中における超音波誘発電位に関する検討」
      第 36 回　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    235. 高田 千裕、高柳 真司、柳谷 隆彦、松川 真美
      「H2O 導入スパッタ法を用いて作製した c 軸平行配向 ZnO 膜のすべりモード電気機械結合係数」
      第 36 回　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    236. 寺田 浩士朗、西川 宏明、田中 陽、小田川 裕之、柳谷 隆彦、長 康雄
      「走査型非線形誘電率顕微法による層状極性反転圧電膜の層厚の定量測定」 
      第 36 回　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    237. 森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦 
      「Al 極性 ScAlN/O 極性 ZnO 極性反転多層構造を用いた GHz 帯高効率トランスデューサ 」
      　　　　　　第 36 回　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    238. 鈴木 雅視、柳谷 隆彦
      「c 軸傾斜 ScxAl-xN 薄膜(0<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」
      第 36 回　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム<0.55)における擬似すべりモード電気機械結合係数」
    239. 岡 峰生、高柳 真司、柳谷 隆彦、松川 真美
      「IBAD 法による c 軸平行配向 ScAlN 薄膜の形成とすべりモード共振子への応用」
      第 36 回　超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
    240. 高柳真司，松川真美，柳谷隆彦
      「スパッタターゲットから発生するイオン種がScAlN薄膜の結晶性に及ぼす影響」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    241. 森剛志，鈴木雅視，柳谷隆彦
      通常のスパッタ法を用いたAl極性ScAlN/O極性ZnO極性反転構造トランスデューサ」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    242. 森剛志，鈴木雅視，柳谷隆彦
      「イオンビーム照射を用いたc軸平行極性反転構造ZnO薄膜共振子」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    243. 高田千裕，高柳真司，松川真美，柳谷隆彦
      「RFマグネトロンスパッタにおけるc軸平行配向ZnO膜の高品質化の検討」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    244. 高柳真司，岡峰生，松川真美，柳谷隆彦
      「c軸平行配向ScAlN膜/高音速基板構造を用いたセザワ波の高い電気機械結合係数」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    245. 富田昇太，高柳真司，松川真美，柳谷隆彦
      「Brillouin散乱法を用いたc面ZnO単結晶の音響電気効果による緩和測定」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    246. 日山彰子，高柳真司，松川真美，柳谷隆彦
      「c軸平行配向ZnO膜によるSH-SAWを用いた液体の粘度・導電率測定」
      圧電材料・デバイスシンポジウム2016
    247. 松川 沙弥果，森 駿貴，眞野 功、水野 勝紀， 柳谷 隆彦，高柳 真司，松川 真美
      「MHz 域における皮質骨の逆圧電効果」 
      日本音響学会2016年春季研究発表会
    248. 14a-2K-7森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦
      「Al極性(0001)ScAlN/O極性(000-1)ZnO極性反転構造の薄膜音響共振子」
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    249. 14p-PB11-6] 鈴木 雅視、柳谷 隆彦
      「斜めスパッタ蒸着法によるc軸傾斜ScAlN薄膜の形成」
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    250. 14p-4E-1森 剛志、鈴木 雅視、柳谷 隆彦
      「イオンビーム照射によるc軸平行極性反転構造ZnO薄膜の形成」
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    251. 15a-PA3-8川部 昌彦、柳谷 隆彦、市橋 隼人、高柳 真司、鈴木 雅視、松川 真美
      「Brillouin散乱法を用いた圧電性ScAlN薄膜による励起フォノンの測定」
      第76回応用物理学会秋季学術講演会
    252. 高柳真司，柳谷隆彦，Jean-Claude Gerbedoen、Abdelkrim Talbi，松川真美，Philippe Pernod
      (EM44-2-03) 「スパッタ成膜の高速負イオン照射を用いたc 軸平行配向ZnO 膜の形成と圧電デバイス応用」
      第４４回EMシンポジウム
    253. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      (EM44-2-05) 「c 軸傾斜ScAlN 薄膜における擬似すべりモード電気機械結合係数のSc 濃度依存性」
      第４４回EMシンポジウム
    254. 市橋隼人、柳谷隆彦、高柳真司、川部昌彦、松川真美
      180º，90R散乱配置を用いたBrillouin散乱計測によるGaNの弾性定数測定
      第62回応用物理学会春季学術講演会
      2015年03月12日
    255. 高田千裕、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美
      RFマグネトロンスパッタ法におけるZnOターゲット温度がc軸平行配向ZnO膜の形成に及ぼす影響 
      第62回応用物理学会春季学術講演会
      2015年03月12日
    256. 橋本亮介、高柳真司、柳谷隆彦、松川真美
      RFバイアス三極スパッタ法におけるイオン照射を利用したO面，Zn面，a面およびm面ZnO薄膜の形成 
      第62回応用物理学会春季学術講演会
      2015年03月12日
    257. 常田裕子，松川沙弥果，真野功，水野勝紀，柳谷隆彦，高柳真司，松川真美
      超音波照射による骨中誘発電位の極性について
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
      2015年02月18日
    258. 小林勇太，鈴木雅視，柳谷隆彦，荒川元孝，大橋雄二
      基板付き圧電薄膜のkt評価法の比較
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
      2015年02月18日
    259. 小田川裕之，寺田浩士朗，西川宏明，柳谷隆彦，長康雄
      走査型非線形誘電率顕微法による層状構造圧電薄膜の極性評価
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
      2015年02月18日
    260. 柳谷隆彦，市橋隼人，鈴木雅視，高柳真司，松川真美
      ScAlN薄膜における弾性定数テンソルのSc濃度依存性
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
      2015年02月18日
    261. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      陽極RFバイアス法による2次モード(000-1)/(0001)ScAlN FBAR
      圧電材料・デバイスシンポジウム2015
      2015年02月18日 

      262. 【2014年発表】

    262. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      イオンビーム照射成膜によるc軸垂直配向希土類GaN薄膜の形成
      第61 回応用物理学会春季学術講演会
      2014年03月17日
    263. 片田 克吉，鈴木雅視，柳谷隆彦，和佐清孝
      エピタキシャルPZT 厚膜を用いた高温600℃における高効率超音波励振
      日本音響学会春季研究発表会
      2014年03月10日
    264. 柳谷隆彦
      圧電効果を利用した導電率計測技術
      研究集会「地震学をとりまく固体地球物理学」
      2014年02月01日
    265. 柳谷隆彦，片田克吉，鈴木雅視，和佐清孝
      エピタキシャルPZT系厚膜の高温550℃における高い電気機械結合係数
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    266. 片田克吉，柳谷隆彦，鈴木雅視，和佐清孝
      PZT系エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    267. 鈴木雅視，片田克吉，柳谷隆彦
      c軸傾斜ScAlN薄膜の擬似すべりモード電気機械結合係数
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    268. 市橋隼人，柳谷隆彦，高柳真司，松川真美
      音響電気効果を考慮したGaN単結晶のGHz域音速の温度・周波数分散測
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    269. 和佐清孝，松嶋朝明，足立秀明，松永利之，柳谷隆彦，山本孝
      Bi(Me)O3-PbTiO3 高キュリー温度セラミックスの単結晶薄膜化
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    270. 常田裕子，都築温実，水野勝紀，柳谷隆彦，高柳真司，松川真美
      超音波照射により皮質骨に発生する誘発電位の検討
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    271. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美 
      極性反転ZnOおよびAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    272. 橋本亮介，高柳真司，柳谷隆彦，松川真美
      RFバイアス三極スパッタ法によるイオン照射を用いたO面，Zn面，a面およびm面ZnO薄膜の配向制御
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    273. 加藤善也，柳谷隆彦，高柳真司，日山彰子，横山晋哉，松川真美
      c軸平行配向ZnO膜/平面・円管状石英上を伝搬するSH-SAWの液体センサ応用
      圧電材料・デバイスシンポジウム2014
      2014年01月29日
    274. Takahiko Yanagitani, Katsuyoshi Katada, Masashi Suzuki, Kiyotaka Wasa
      Second overtone mode polarization inverted HBAR consisting of (001)/(00-1) PbTiO3 epitaxial
      The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2014年12月03日
    275. Hayato Ichihashi, Takahiko Yanagitani, Masashi Suzuki, Shinji Takayanagi, Masahiko Kawabe, Mami Matsukawa
      > Elastic constants c11 and c66 in ScxAl1-xN films determined by Brillouin scattering method
      The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2014年12月03日
    276. Masahiko Kawabe, Takahiko Yanagitani, Hayato Ichihashi, Shinji Takayanagi, Masashi Suzuki, Mami Matsukawa
      Brillouin scattering measurement using induced phonon from ScAlN piezoelectric thin film
      The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2014年12月03日
    277. Hiroko Tsuneda, Sayaka Matsukawa, Isao Mano, Katsunori Mizuno, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
      Effects of microstructure on bone piezoelectricity in the MHz range
      The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2014年12月03日
    278. Shoko Hiyama, Takahiko Yanagitani, Shinji Takayanagi, Mami Matsukawa
      Propagation characteristics of SH-wave in c-axis parallel oriented ZnO film/silica glass pipe
      The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2014年12月03日
    279. Masashi Suzuki, Takahiko Yanagitani
      Second overtone mode (0001)/(000-1) ScAlN multilayer FBARs fabricated by anode RF bias
      The 35th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2014年12月03日
    280. 片田克吉、柳谷隆彦、鈴木雅視、和佐清孝
      PbTiO3エピタキシャル薄膜を用いた二次モード分極反転共振子 
      電子情報通信学会 超音波研究会
      2014年10月22日
    281. 柳谷隆彦，鈴木雅視
      イオン照射による極性反転 ScAlN 薄膜の形成と高次モードFBAR への応用
      EMシンポジウム2014
      2014年06月05日
    282. 高柳真司，柳谷隆彦，松川 真美
      極性反転ScAlN系薄膜の境界を伝搬するセザワ波の高い電気機械結合係数
      EMシンポジウム2014
      2014年06月05日

      283. 【2013年発表】

    283. 鈴木雅視、柳谷隆彦
      c-axis parallel oriented multilayer AlN film grown by　ion-beam assisted deposition
      第23回日本MRS年次大会
      2013年12月10日
    284. 高柳真司　柳谷隆彦　松川真美
      c 軸傾斜および平行配向ScAlN 薄膜/ 基板構造における弾性表面波の高い電気機械結合係数
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2013年11月20日
    285. 市橋隼人　柳谷隆彦　高柳真司　川部昌彦　松川真美
      Brillouin 散乱法を用いたGaN 単結晶の音速分散測定
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2013年11月20日
    286. 鈴木雅視　柳谷隆彦
      ScAlN 膜における相境界付近のGHz 帯圧電特性と弾性温度係数
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2013年11月20日
    287. 柳谷隆彦　鈴木雅視　和佐清孝
      GHz 帯超音波励振を用いたエピタキシャルPZT 薄膜の分極反転挙動観察
      第34回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2013年11月20日
    288. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      イオンビームアシスト成膜法によるc軸平行螺旋構造AlN薄膜の形成
      第７４回応用物理学会秋季学術講演会
      2013年09月19日
    289. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      イオンビームアシスト成膜によるc軸平行極性反転AlN多層構造の形成 
      第60回応用物理学会春季学術講演会
      2013年03月29日
    290. 鈴木雅視，伊藤一也，柳谷隆彦 
      希土類を添加したGaN薄膜の相境界付近における巨大圧電性
      第60回応用物理学会春季学術講演会 
      2013年03月27日
    291. 柳谷隆彦，鈴木雅視，和佐清孝
      PZT系単結晶薄膜のGHz帯圧電特性とバイアス印可時の分極反転挙動
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    292. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      AlN系薄膜におけるイオンビームを用いたc軸平行螺旋構造およびc軸垂直極性反転構造の形成
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    293. 伊藤一也，鈴木雅視，柳谷隆彦
      希土類を添加したAlNおよびGaN薄膜の圧電特性
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    294. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美
      厚み共振を利用した圧電薄膜成長初期における無配向層の厚み評価
      第７４回応用物理学会秋季学術講演会
      2013年09月17日
    295. 常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美, 
      超音波照射による骨の誘発電位
      平成25年度第2回アコースティックイメージング研究会 
      2013年08月00日
    296. 常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
      MHz域の超音波照射による骨の誘発電位
      第33回日本骨形態計測学会
      2013年07月00日
    297. 常田裕子, 沖野正裕, 水野勝紀, 柳谷隆彦, 高柳真司, 松川真美
      超音波骨トランスデューサの受波感度の検討
      日本音響学会2013年春季研究発表会
      2013年03月00日
    298. 高柳 真司，柳谷隆彦，松川 真美
      RFバイアススパッタ法による高エネルギー正イオン照射を用いた六方晶系圧電薄膜の配向制御
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    299. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美
      RFバイアススパッタ法により生じる高エネルギー正イオン照射を利用した六方晶系薄膜の配向制御 
      第60回応用物理学会春季学術講演会
      2013年03月29日
    300. 市橋隼人，杉本剛士，柳谷隆彦，高柳真司，松川真美
      Brillouin散乱法によるGaN単結晶の音波物性測定
      第60回応用物理学会春季学術講演会
      2013年03月29日
    301. 加藤善也，柳谷隆彦，高柳真司，今村功祐，松川真美
      c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合 
      第60回応用物理学会春季学術講演会 
      2013年03月29日
    302. 生駒遼，柳谷隆彦，高柳真司，鈴木雅視,小田川裕之，松川真美
      c軸配向ZnO薄膜を用いた極性反転高次モード多層共振子
      第60回応用物理学会春季学術講演会
      2013年03月29日
    303. 今村功祐，柳谷隆彦，加藤善也，松川真美
      IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性
      第60回応用物理学会春季学術講演会
      2013年03月29日
    304. 生駒遼1，柳谷隆彦2，高柳真司1，鈴木雅視2，小田川裕之3，松川真美
      c軸配向ZnO膜の極性制御と極性反転高次モード共振子への応用
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    305. 橋本亮介，柳谷隆彦，今村功祐，生駒遼，高柳真司，松川真美
      高温で高い圧電性を持つMnドープZnO薄膜
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    306. 加藤善也，柳谷隆彦，高柳真司，今村功佑，松川真美
      c軸傾斜配向ZnOまたはScAlN膜のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    307. 吉田憲司，柳谷隆彦，川本貴之，佐々木昌，大場正利，加藤善也，高柳真司，渡辺好章
      c軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子によるアポリポタンパク質の濃度評価
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日
    308. 今村功祐，柳谷隆彦，加藤善也，松川真美
      IDT/c軸平行配向ZnO膜/円柱状石英ガラス上を多重周回するSH-SAWの液体中伝搬特性
      圧電材料・デバイスシンポジウム2013
      2013年01月23日

      309. 【2012年発表】

    309. 鈴木雅視，柳谷隆彦，小田川裕之
      Al2O3粒スパッタ法よる(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転共振子
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2012年11月15日
    310. 伊藤 一也，鈴木 雅視，柳谷隆彦
      巨大圧電性 (0001) ScAlGaN薄膜
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2012年11月15日
    311. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      c 軸垂直極性反転ScAlN 多層膜を用いた高次モード音響共振子
      日本音響学会2012年秋季研究発表会
      2012年09月20日
    312. 鈴木雅視，柳谷隆彦，小田川裕之
      イオンビーム照射成膜による(0001)配向ScAlN薄膜の極性制御と極性反転構造の実現
      第73回応用物理学会学術講演会
      2012年09月13日
    313. 柳谷隆彦，菅沼信広，鈴木雅視 
      Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜共振子の作製
      応用物理学関係連合講演会
      2012年03月18日
    314. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      c軸平行配向AlN圧電膜を用いた高次モード極性反転すべりモード共振子
      日本音響学会2012年春季研究発表会
      2012年03月13日
    315. 高柳 真司，柳谷隆彦，今村 功祐，生駒 遼，杉本 剛士，松川 真美
      c軸傾斜配向ZnO膜/石英基板構造のレイリーSAWにおける高い電気機械結合係数
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2012年11月15日
    316. 生駒 遼　柳谷隆彦　高柳 真司　鈴木 雅視　小田川 裕之　松川 真美
      c軸配向ZnO薄膜における基板へのイオン照射を用いたZn面またはO面極性制御
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2012年11月15日
    317. 沖野 正裕　水野 勝紀　柳谷隆彦3　クテル サビーヌ　松川 真美
      MHz域における骨の電気機械変換特性
      第33回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2012年11月15日
    318. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美
      RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向AlN及びScAlN薄膜の形成
      第73回応用物理学会学術講演会
      2012年09月14日
    319. 生駒遼，柳谷隆彦，高柳真司，鈴木雅視，小田川裕之
      RFマグネトロンスパッタ法における基板へのイオン照射を用いた c軸配向ZnO薄膜の極性制御
      第73回応用物理学会学術講演会
      2012年09月14日
    320. 柳谷隆彦
      圧電薄膜の配向制御技術と液中横波励振
      スマート・アクチュエータ／センサ委員会定例会
      2012年07月27日
    321. 鈴木雅視，柳谷隆彦 
      イオンビームアシストスパッタ法によるc軸平行AlN薄膜/石英基板の形成
      応用物理学関係連合講演会
      2012年03月17日
    322. 高柳真司1，柳谷隆彦2，松川真美1，渡辺好章1 
      マグネトロンスパッタ源から生成される高エネルギー負イオン照射によるZnO膜の配向制御
      応用物理学関係連合講演会
      2012年03月17日
    323. 中東佑太1，柳谷隆彦2，松川真美1，渡辺好章1 
      c軸平行配向ZnO膜を用いたSH-SAWセンサによる液体の導電率測定
      応用物理学関係連合講演会
      2012年03月17日
    324. 菅沼信広，鈴木雅視，柳谷隆彦
      Sc粒スパッタによる巨大圧電性(0001)ScAlN薄膜の作製 -効率的なSc代替材料探索を目指した成膜法-
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
      2012年01月30日
    325. 澤崎守1，川本貴之2,1，森嘉一2，柳谷隆彦3，吉田憲司1，加藤善也1，高柳真司1，佐々木昌2，大場正利2，松川真美1，渡辺好章1
      ｃ軸平行配向ZnO膜を用いた厚みすべりモード共振子による液体の粘性評価
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
      2012年01月30日
    326. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      マグネトロンスパッタ源から生成する高速負イオンを利用したZnO膜の配向制御
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
      2012年01月30日
    327. 鈴木雅視，菅沼信広，柳谷隆彦，小田川裕之
      (0001)配向AlNおよびScAlN薄膜を用いた極性反転共振子
      圧電材料・デバイスシンポジウム2012
      2012年01月30日

      328. 【2011年発表】

    328. 鈴木雅視，菅沼信広，柳谷隆彦
      IBAD 法によるc 軸平行配向AlN 薄膜を用いた極性反転多層膜すべり共振子
      第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2011年11月09日
    329. 菅沼信広，鈴木雅視，柳谷隆彦
      Sc 粒のスパッタにより作製したScAlN 薄膜の電気機械結合係数
      第32回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2011年11月09日
    330. 鈴木雅視，菅沼信広，柳谷隆彦
      IBAD法を用いたc軸平行配向AlN薄膜の作製および極性反転すべり共振子への応用
      電子情報通信学会超音波研究会
      2011年09月27日
    331. 中東佑太・柳谷隆彦・松川真美・渡辺好章
      c軸平行配向ZnO膜/非晶質基板上を伝搬するSH-SAWの電気機械結合係数
      電子情報通信学会超音波研究会
      2011年09月26日
    332. 杉本剛士・佐野広幸・柳谷隆彦・高柳真司・松川真美
      ZnO圧電薄膜によるGHz域の励起フォノンを利用した高速Brillouin散乱測定
      電子情報通信学会超音波研究会 
      2011年07月28日
    333. 杉本剛士，佐野広幸，中東佑太，高柳真司，柳谷隆彦，松川真美
      曲面試料上に成膜したZnO 薄膜からの励起フォノンによるBrillouin 散乱
      日本音響学会春季研究発表会
      2011年03月09日
    334. 中東佑太, 柳谷隆彦, 松川真美, 渡辺好章
      c軸平行配向ZnO膜/非圧電性基板構造におけるSH-SAWの電気機械結合係数およびセンサ応用の検討
      圧電材料・デバイスシンポジウム2011
      2011年02月01日
    335. 鈴木雅視, 柳谷隆彦
      c軸平行配向AlN薄膜を用いた極性反転すべり共振子
      圧電材料・デバイスシンポジウム2011
      2011年01月31日

      336. 【2010年発表】

    336. S. Takayanagi, T. Yanagitani, M. Matsukawa, Y. Watanabe
      c-axis parallel oriented ZnO film depositions by variable frequency RF bias sputtering
      第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2010年12月08日
    337. 中辻 知宏　山本 和史　山下 圭祐1　柳谷隆彦　松川 真美1　山崎 薫　松山 幸弘 
      Three dimensional anisotropy of ultrasonic wave velocity in bovine cortical bone - Effects of HAp crystallites orientation and microstructure -
      第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2010年12月08日
    338. Takahiko Yanagitani, Arakawa Kazuki, Suzuki Masashi, Kano Kazuhiko, Akihiko
      Giant shear mode electromechanical coupling in c-axis tilted ScAlN films
      第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2010年12月08日
    339. H. Sano, T. Yanagitani, S. Takayanagi, M. Matsukawa, N. Ohtori
      Observation of induced phonons by ZnO transducer with coaxial microwave resonator using Brillouin scattering
      第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2010年12月06日
    340. 鈴木 雅視　柳谷隆彦
      In-plane and out-of-plane orientation control of AlN films by ion beam assisted RF magnetron sputtering
      第31回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
      2010年12月06日
    341. 柳谷隆彦、荒川和樹、鈴木雅視、加納一彦、勅使河原明彦、秋山守人
      c軸傾斜配向ScAlN膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
      電子情報通信学会　超音波研究会
      2010年10月14日
    342. 佐野広幸，柳谷隆彦，高柳真司、松川真美
      Brillouin散乱法による同軸共振器と圧電薄膜を用いた励起フォノンの観測
      電子情報通信学会超音波研究会
      2010年09月30日
    343. 高柳真司、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
      RFバイアススパッタ法によるc軸平行配向ZnO薄膜の形成　～ バイアス周波数が配向性に及ぼす影響 ～
      電子情報通信学会超音波研究会
      2010年09月30日
    344. 中辻知宏・山本和史・高柳真司・柳谷隆彦・松川真美・山崎薫）
      ウシ左右大腿骨皮質骨中の特徴的な3次元音速異方性　～ 最大音速方向の骨軸からのずれについて ～
      電子情報通信学会超音波研究会
      2010年09月30日
    345. 柳谷隆彦、秋山守人
      c 軸傾斜配向ScAlN 膜の擬似すべりモードにおける巨大圧電性
      日本音響学会秋季研究発表会
      2010年09月15日
    346. 佐野広幸，柳谷隆彦，松川真美
      Brillouin 散乱法による導電性ZnO 単結晶を用いた擬似すべりモード電気機械結合係数k15´の評価
      日本音響学会秋季研究発表会
      2010年09月14日
    347. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      RFバイアススパッタ法による簡便な(11-20)および(10-10)配向ZnO膜の形成
      第57回 応用物理学関係連合講演会
      2010年03月17日
    348. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      傾斜配向AlN膜の結晶粒界と横波音響特性
      日本音響学会春季研究発表会
      2010年03月08日
    349. 柳谷隆彦，佐野広幸，松川真美
      Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率評価
      日本音響学会春季研究発表会
      2010年03月01日
    350. 鈴木雅視，柳谷隆彦
      傾斜配向AlN膜の構造が横波音響特性におよぼす影響
      圧電材料・デバイスシンポジウム2010
      2010年02月01日
    351. 高柳真司，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      RFバイアススパッタ法による簡便な面内配向ZnO薄膜の形成
      圧電材料・デバイスシンポジウム2010
      2010年02月01日

      352. 【2009年発表】

    352. Piezoelectric properties of c-axis highly tilted AlN films
      鈴木雅視，柳谷隆彦
      The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2009年11月18日
    353. 柳谷隆彦，佐野広幸，松川真美
      Measurement of in-plane electric properties in a wide band-gap semiconductor by Brillouin scattering method
      The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 
      2009年11月18日
    354. 川本貴之，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，森嘉一，佐々木昌，大場正利
      Crystallographic characteristics of (11-20) textured ZnO piezoelectric films fabricated by magnetron sputtering with linear erosion
      The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 
      2009年11月18日
    355. 守里直希，高柳真司，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      Multilayer shear mode resonator consisting of c-axis tilted ZnO films
      The 30th Symposium on Ultrasonic Electronics 
      2009年11月18日
    356. 山本 和史，大和　雄，山崎　薫，長野　昭、矢追 佑一郎，中辻 智宏，松川 真美、柳谷隆彦
      ウシ大腿骨皮質骨の縦波音速異方性とHAp結晶配向
      日本整形外科学会基礎学術集会
      2009年11月05日
    357. 柳谷隆彦，佐野広幸，松川真美
      Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向電気特性評価に関する検討
      電子情報通信学会超音波研究会
      2009年09月22日
    358. 守里直希・高柳真司，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用
      電子情報通信学会超音波研究会
      2009年09月22日
    359. 川本貴之，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，森嘉一，佐々木昌，大場正利
      直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜
      電子情報通信学会超音波研究会
      2009年09月22日
    360. 矢追佑一郎, 松川真美, 山本和史, 山崎薫, 柳谷隆彦
      ウシ大腿骨皮質骨中の超音波縦波音速　ハイドロキシアパタイト結晶配向と微細構造の影響
      電子情報通信学会超音波研究会
      2009年06月00日
    361. 大和雄　　山崎薫　長野昭　松川真美　　矢追佑一郎　中辻智宏　柳谷隆彦
      ヒト及びウシ円環状皮質骨における骨軸方向への超音波伝搬特性
      日本骨形態計測学会
      2009年05月30日
    362. 柳谷隆彦，吉田泰祐，佐野広幸，松川真美
      Brillouin散乱法による圧電半導体の面内方向抵抗率分布の評価
      第56回応用物理学関係連合講演会
      2009年03月30日

      363. 【2008年以前発表】

    363. Yuichiro Yaoi, Kazufumi Yamamoto１, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa, Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
      Anisotropy of longitudinal ultrasound velocity and HAp orientation in bovine cortical bone
      The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics 
      2008年11月11日
    364. Taisuke Yoshida, Takahiko Yanagitani, Mami Matsukawa
      Electromechanical coupling coefficient of semiconducting piezoelectric crystal measured by Brillouin scattering
      The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2008年11月11日
    365. Takahiko Yanagitani, Masato Kiuchi
      Pure-shear mode BAW resonator consisting of (1120) textured AlN films
      The 29th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2008年11月11日
    366. 柳谷隆彦，木内正人，松川真美
      (11-20)配向AlN圧電薄膜を用いた純横波モード共振子
      第69回応用物理学会学術講演会
      2008年09月05日
    367. 吉田泰祐，坂本雅則，柳谷隆彦，松川真美
      Brillouin散乱法を用いた六方晶系圧電薄膜の評価
      圧電材料・デバイスシンポジウム2008
      2008年01月25日 
    368. 山崎薫，大和雄，山本和史，長野昭，松川真美、矢追祐一郎，柳谷隆彦
      超音波による骨質の評価
      第9回日本骨粗鬆症学会
      2007年11月14日
    369. A. Tanaka, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe
      Propagation characteristics of SH-SAW in (11-20) ZnO film/silica glass substrate structures
      The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2007年11月13日
    370. 柳谷隆彦，木内正人
      Texture control of ZnO piezoelectric films by ion beam irradiation
      The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2007年11月13日
    371. T. Matsuo, T. Yanagitani, M. Matsukawa, and Y. Watanabe
      A c-axis tilted ZnO film transducer for simultaneous excitation of longitudinal and shear waves
      The 28th Symposium on Ultrasonic Electronics
      2007年11月13日
    372. 田中厚志，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      (11-20)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性
      電子情報通信学会超音波研究会
      2007年09月28日
    373. 松尾卓也，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      c軸傾斜配向ZnO膜を用いたVHF帯縦波横波同時励振トランスデューサ
      第68回応用物学会学術講演会
      2007年09月28日
    374. 松尾卓也，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      c軸傾斜配向ZnO 膜を用いた縦波横波同時励振トランスデューサ
      日本音響学会秋季研究発表会
      2007年09月20日
    375. 田中厚志，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      (11-20)面配向ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性 
      第68回応用物学会学術講演会
      2007年09月04日
    376. 吉田 泰祐，村田 茂雄，松川 真美，柳谷隆彦
      Brillouin 散乱法を用いたガラス中の横波励起フォノンの観測
      日本音響学会春季研究発表会
      2007年03月13日
    377. 田中 厚志，松川 真美，渡辺 好章，柳谷隆彦
      面内配向ZnO 多結晶膜/基板構造におけるSH 型SAW 特性
      日本音響学会春季研究発表会
      2007年03月13日
    378. 田中厚志、松川真美、渡辺好章, 柳谷隆彦
      （11-20）ZnO膜/石英基板構造におけるSH型SAW特性
      圧電材料・デバイスシンポジウム2007
      2007年01月30日
    379. 柳谷隆彦、木内正人
      イオンチャネリング効果によるZnO圧電膜の配向制御に関する検討
      圧電材料・デバイスシンポジウム2007 
      2007年01月30日
    380. 松尾卓也、松川真美、渡辺好章,柳谷隆彦
      c軸傾斜配向ZnO膜の電気機械結合係数と縦波横波同時励振トランスデューサへの適用
      圧電材料・デバイスシンポジウム2007
      2007年01月29日 
    381. 柳谷隆彦，木内正人
      横波モード圧電デバイスを目的としたイオンビームアシスト蒸着法による面内配向ZnO薄膜の作製
      表面技術フォーラム
      2006年12月07日
    382. Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe, Takahiko Yanagitani
      Effects of sputtering gas on the formation of (11-20) textured ZnO films
      第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2006年11月15日
    383. Shigeo Murata‡, Takayuki Kawamoto, Mami Matsukawa, Takahiko Yanagitani
      Observation of induced shear acoustic phonons by Brillouin scattering
      第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
      2006年11月15日
    384. Yu Yamato† (Hamamatsu, Hirofumi Mizukawa, Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa Kaoru Yamazaki, Akira Nagano
      Longitudinal wave velocity and orientation of HAp crystallites in local area of bovine femoral cortical bone
      第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
      2006年11月15日
    385. Takahiko Yanagitani‡, Masato Kiuchi, Mami Matsukawa, Yoshiaki Watanabe
      Characteristics of shear mode FBAR using (11-20) textured ZnO films
      第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム 
      2006年11月15日
    386. 松尾 卓也，田中 厚志，松川 真美，渡辺 好章，柳谷隆彦
      c軸傾斜配向ZnO 膜の形成および圧電特性
      日本音響学会秋季研究発表会
      2006年09月13日
    387. ウシ皮質骨の弾性異方性と結晶配向性
      水川 裕文，松川 真美，柳谷隆彦，大和 雄，山崎 薫，長野 昭
      日本音響学会春季研究発表会
      2006年03月14日
    388. 柳谷隆彦，松川 真美，渡辺 好章
      面内配向ZnO 膜を用いたすべりモード薄膜共振子の特性
      日本音響学会春季研究発表会 
      2006年03月14日
    389. 川本貴之、三島夏樹、柳谷隆彦、松川真美、渡辺好章
      面内配向ZnO膜のk15の評価およびすべりモード薄膜共振子への応用
      圧電材料・デバイスシンポジウム2006
      2006年02月00日 
    390. 大和雄、松川真美，柳谷隆彦，水川裕文、山崎薫、大谷隆彦、長野昭
      牛皮質骨の超音波伝搬特性と結晶配向
      第26回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2005年11月00日
    391. 宮本善則，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO薄膜の結晶性向上と膜厚均一化に関する検討
      日本音響学会秋季研究発表会
      2005年09月00日
    392. 川本貴之，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      面内配向ZnO薄膜の作製条件に関する検討
      日本音響学会秋季研究発表会
      2005年09月00日
    393. 三島夏樹，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      面内配向ZnO膜の電気機械結合係数k15の評価
      日本音響学会秋季研究発表会
      2005年09月00日
    394. 三島夏樹，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章
      面内配向ZnO膜の圧電性評価と共振器への応用
      電子情報通信学会超音波研究会
      2005年09月00日
    395. 柳谷隆彦，三島夏樹，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO膜の圧電性
      第34回EMシンポジウム
      2005年05月00日
    396. 村田茂雄，大和哲郎，新谷和明，柳谷隆彦，松川真美
      顕微ブリユアン光散乱法を用いたZnO薄膜の非破壊評価
      日本音響学会春季研究発表会
      2005年03月00日
    397. 柳谷隆彦，野原拓也，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      (11-20)面配向ZnO圧電膜の結晶性向上および膜厚分布の低減
      圧電材料・デバイスシンポジウム2005
      2005年02月00日
    398. 野原拓也，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの変換特性
      圧電材料・デバイスシンポジウム2005
      2005年02月00日 
    399. 柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ
      電気関係学会関西支部連合大会
      2004年11月00日
    400. 新谷和明，柳谷隆彦，松川真美，大谷隆彦
      顕微ブリユアン光散乱法による面内配向ZnOフィルムの評価
      第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2004年10月00日
    401. 柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO薄膜を用いたトランスデューサの評価
      第25回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2004年10月00日
    402. 宮本善則，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の結晶性向上に関する検討
      日本音響学会秋季研究発表会
      2004年09月00日
    403. 柳谷隆彦，野原拓也，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO 薄膜を用いた横波トランスデューサ
      日本音響学会春季研究発表会
      2004年03月00日
    404. 柳谷隆彦，野原拓也，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      （11-20）面配向ZnO薄膜による横波トランスデューサの作製
      圧電材料・デバイスシンポジウム2004
      2004年01月00日 
    405. 柳谷隆彦，野原拓也，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      面内配向ZnO 薄膜による横波励振の検討
      第24回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
      2003年11月00日
    406. 柳谷隆彦，野原拓也，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      横波励振を目的とした面内配向ZnO薄膜の開発
      電子情報通信学会超音波研究会
      2003年09月00日
    407. 野原拓也，柳谷隆彦，松川真美，渡辺好章，大谷隆彦
      ZnO薄膜を用いた横波トランスデューサの検討
      日本音響学会秋季研究発表会
      2003年09月00日
    408. 柳谷隆彦，松川真美，大谷隆彦，三原敏行
      金属膜上に作製されたZnO 面内一方向配向膜の特性
      日本音響学会2003年春季研究発表会
      2003年03月00日